[發明專利]離子注入量調節裝置及方法、離子注入設備、判斷方法

在審

• 申請號: 201710483558.3
• 申請日: 2017-06-22
• 公開（公告）號: CN107195518A
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發明（設計）人: 經好;姜東佑;傅永義;劉晨亮;李儒健;羅康
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01J37/02
• 分類號: H01J37/02;H01J37/05;H01J37/244
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司11243
• 代理人: 許靜,劉偉

1.一種離子注入量調節裝置，應用于離子注入設備，其特征在于，包括：

調節件，用于開啟和關閉離子出口；

驅動結構，用于控制所述調節件運動以調節離子出口的開口度。

2.根據權利要求1所述的離子注入量調節裝置，其特征在于，所述調節件包括設置于離子出口處的調節板，所述調節板為一板狀結構。

3.根據權利要求2所述的離子注入量調節裝置，其特征在于，所述驅動結構包括：

電機；

傳動桿，所述傳動桿的一端與所述電機驅動連接，所述傳動桿的另一端與所述調節板傳動連接。

4.根據權利要求3所述的離子注入量調節裝置，其特征在于，所述傳動桿的另一端通過旋轉軸與所述調節板的一端連接，所述調節板的另一端為自由端。

5.根據權利要求4所述的離子注入量調節裝置，其特征在于，所述調節件包括兩個調節板，一個所述傳動桿的另一端通過旋轉軸與每個所述調節板的一端連接以同時控制兩個所述調節板的運動，每個所述調節板的另一端為自由端。

6.根據權利要求4所述的離子注入量調節裝置，其特征在于，所述調節件包括兩個調節板，所述驅動結構包括分別控制兩個所述調節板的兩個驅動單元，每個所述驅動單元包括：

所述電機；

所述傳動桿，所述傳動桿的一端與相應的所述電機驅動連接，所述傳動桿的另一端與相應的所述調節板傳動連接。

7.根據權利要求6所述的離子注入量調節裝置，其特征在于，兩個所述調節板對稱設置于離子注入設備的離子出口處。

8.一種離子注入設備，其特征在于，包括權利要求1-7任一項所述的離子注入量調節裝置。

9.一種離子注入量調節方法，其特征在于，采用權利要求1-7任一項所述的離子注入量調節裝置實現，包括：

驅動結構控制調節件運動；

檢測離子注入量，并根據檢測結果調節調節件的運動量。

10.一種判斷方法，用于離子束均勻度的判斷，其特征在于，采用權利要求1-7任一項所述的離子注入量調節裝置實現，包括：

驅動結構控制調節件運動使得離子出口的開口度為第一開口度；

檢測離子注入量，獲得第一檢測結果；

驅動結構控制調節件運動使得離子出口的開口度為第二開口度；

檢測離子注入量，獲得第二檢測結果；

根據所述第一檢測結果和所述第二檢測結果是否滿足預設要求而判斷離子束注入的均勻度。