[發明專利]一種氟代苯乙烯單體、含氟共聚物及在248nm深紫外光刻膠中的應用

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• 申請號: 201710483169.0
• 申請日: 2017-06-22
• 公開（公告）號: CN107325218A
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發明（設計）人: 穆啟道;鄭祥飛;紀昌煒
• 申請（專利權）人: 蘇州瑞紅電子化學品有限公司
• 主分類號: C08F212/14
• 分類號: C08F212/14;C08F220/18;G03F7/004
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1.一種含氟代苯乙烯單元結構的共聚物，其特征在于可以是三元共聚物或者四元共聚物，分子結構如下所示：

2.根據權利要求1所述的三元或者四元共聚物，其特征在于R1為羥基或乙酰氧基。

3.根據權利要求1所述的三元或者四元共聚物，其特征在于R2-R6為H或F，且R2-R6不能同時為H。

4.根據權利要求1所述的三元或者四元共聚物，其特征在于R7為H或-CH₃，R8為酸敏結構，可以是叔丁基、叔戊基、1-甲基環戊基、1-乙基環戊基、1-甲基環己基、1-乙基環己基、甲基異冰片基中的任意一種。

5.根據權利要求1所述的四元共聚物，其特征在于R9為H或-CH₃，R10是各種多脂肪環類取代基結構，如：

A：金剛烷類

具體對應單體可以是1-金剛烷基甲基丙烯酸酯、1-金剛烷基丙烯酸酯、丙烯酸金剛烷甲醇酯、甲基丙烯酸金剛烷甲醇酯、2-甲基2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、2-甲基2-金剛烷基丙烯酸酯、2-乙基2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、2-乙基2-金剛烷基丙烯酸酯、2-異丙基2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、2-異丙基2-金剛烷基丙烯酸酯、3-羥基-1-金剛烷基丙烯酸酯、3-羥基-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯中的任意一種；

B：降冰片類取代基

具體對應甲基丙烯酸5-(2-羧酸叔丁酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-羧酸叔丁酯基)降冰片酯、甲基丙烯酸5-(2-羧酸甲基環己酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-羧酸甲基環己酯基)降冰片酯、甲基丙烯酸5-(2-羧酸1-甲基環己酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-羧酸1-甲基環己酯基)降冰片酯、甲基丙烯酸5-(2-羧酸1-乙基環戊酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-羧酸1-乙基環戊酯基)降冰片酯、甲基丙烯酸5-(2-甲酰1-乙基環戊酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-甲酰1-乙基環戊酯基)降冰片酯、甲基丙烯酸5-(2-羧酸1-乙基環己酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-羧酸1-乙基環己酯基)降冰片酯、甲基丙烯酸5-(2-羧酸2-丁內酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-羧酸2-丁內酯基)降冰片酯、甲基丙烯酸5-(2-羧酸2-己內酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-羧酸2-己內酯基)降冰片酯中的任意一種；

C：倍半萜醇類取代基

具體對應柏木醇、廣藿香醇、環桉醇、蒼蒲醇、桉葉醇、寬葉甘松醇、喇叭茶醇、檜腦、愈創木醇、雪松醇中的任意一種。

6.根據權利要求1所述的三元和四元共聚物，其特征在于，包括以下制備步驟：

(1)在裝有攪拌器、冷凝管和溫度計的四口燒瓶中，加入反應單體，引發劑，溶劑。單體溶液在N2保護作用下，加熱至50-70℃反應20-24個小時。

(2)將溫度調到70-80℃，向上述體系中加入2％-7％的甲醇鈉和甲醇溶液，繼續反應，并且每隔一個小時，補加一次甲醇，5-8個小時后，停止反應。

(3)將樹脂滴加到去離子水中，得到白色沉淀物，抽濾后置于65℃真空烘箱中烘干得到白色共聚物粉末。用甲醇或者丙酮溶解共聚物，并將共聚物溶液滴加到去離子水中，得到白色沉淀，抽濾后置于65℃真空烘箱中烘干得到純化的白色共聚物粉末。

7.根據權利要求1所述的三元或者四元共聚物，其特征在于將共聚物(10-30份)、光致產酸劑(0.2-1份)、堿性添加劑(0.01-0.2份))、流平劑(0.01-0.15份)混合，用溶劑制備成固含10％-25％的248nm深紫外光刻膠。