[發明專利]OLED蒸鍍設備及其防粘板

在審

• 申請號: 201710480800.1
• 申請日: 2017-06-22
• 公開（公告）號: CN107287559A
• 公開（公告）日: 2017-10-24
• 發明（設計）人: 涂愛國;魏鋒;李金川;姜亮
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/12
• 分類號: C23C14/12;C23C14/24
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙)44280
• 代理人: 袁江龍

技術領域

本發明涉及顯示器件技術領域，特別涉及一種OLED蒸鍍設備及其防粘板。

背景技術

OLED(Organic Light Emitting Display)蒸鍍技術，是將OLED有機材料和被蒸鍍基板存放于真空環境下，加熱有機材料，使有機材料蒸發或升華，并蒸鍍到被蒸鍍基板表面凝聚成膜的工藝，目前量產蒸鍍機一般采用真空環境下點源或線源蒸發方式，有機材料利用率低于40％，絕大部分有機材料都成膜在蒸鍍機腔體的防粘板上，防粘板需定期更換和清洗。

目前防粘板基本采用金屬板固定于蒸鍍機腔體內；由于防粘板數量多、型號不同，體積大、重量大、更換人工費時，影響生產效率；且防粘板的清洗需要大量的化學品反應清洗，清洗價格昂貴；清洗后的材料加大污染，回收難度大。

發明內容

本發明實施例提供一種OLED蒸鍍設備及其防粘板，以解決現有技術中防粘板有機材料回收難度大的問題。

為解決上述技術問題，本發明實施例采用的一個技術方案是：提供一種OLED蒸鍍設備，OLED蒸鍍設備包括殼體，殼體內形成有蒸鍍腔，蒸鍍腔內用于放置被蒸鍍基板和有機材料并在真空條件下使有機材料蒸發或升華蒸鍍到被蒸鍍基板表面凝聚成膜，蒸鍍設備內設有防粘板，防粘板覆蓋殼體的內表面以對未蒸鍍到被蒸鍍基板上的有機材料進行收集，防粘板包括支撐基板和設于支撐基板表層的聚酰亞胺薄膜，未蒸鍍到被蒸鍍基板上的有機材料沉積在聚酰亞胺薄膜的表面。

為解決上述技術問題，本發明實施例采用的另一個技術方案是：提供一種用于OLED蒸鍍設備的防粘板，防粘板包括支撐基板和設于支撐基板表層的聚酰亞胺薄膜。

本發明的有益效果是：區別于現有技術的情況，本發明實施例提供的OLED蒸鍍設備及其防粘板由于采用了聚酰亞胺薄膜來收集有機材料，在更換防粘板時可方便地將有機材料與聚酰亞胺薄膜進行機械剝離，使得有機材料的回收非常方便。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖，其中：

圖1是本發明實施例提供的OLED蒸鍍設備的簡化側面結構示意圖；

圖2是本發明一實施例提供的用于OLED蒸鍍設備的防粘板的簡化側面結構簡化示意圖；

圖3是圖2中所示的用于OLED蒸鍍設備的防粘板的聚酰亞胺薄膜的一種側視結構簡化示意圖；

圖4是圖2中所示的用于OLED蒸鍍設備的防粘板的聚酰亞胺薄膜的另一種側視結構簡化示意圖；

圖5是圖2中所示的用于OLED蒸鍍設備的防粘板的聚酰亞胺薄膜的又一種俯視結構簡化示意圖。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本發明的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。

請參閱圖1，圖1是本發明實施例提供的OLED蒸鍍設備的簡化側面結構示意圖。

如圖1所示，本發明實施例提供一種OLED蒸鍍設備10，該OLED蒸鍍設備10包括殼體110，殼體110由多塊板體圍合構成，殼體110內形成有蒸鍍腔120。其中，圖1中只是示意性的顯示了殼體110和蒸鍍腔120的形狀，在實際產品中，殼體110和蒸鍍腔120的形狀并不限于此。

蒸鍍腔120內用于放置被蒸鍍基板130和有機材料140并在真空條件下使有機材料140蒸發或升華并蒸鍍到被蒸鍍基板130表面凝聚成膜。其中，有機材料140通過容器141裝設，容器141可以是任意適合的形狀，被蒸鍍的有機材料140一部分蒸鍍到被蒸鍍基板130的下表面，其余部分朝向殼體110蒸鍍。

為了避免有機材料140蒸鍍到殼體110的內壁上，蒸鍍設備10內還設有防粘板150，防粘板150覆蓋殼體110的內表面以對未蒸鍍到被蒸鍍基板130上的有機材料140進行收集。其中，殼體110的每一個內表面上可由一塊防粘板150覆蓋，或者由多塊防粘板150拼接覆蓋。防粘板150可為規則或不規則形狀，可通過螺栓固定方式或卡扣固定方式固定在殼體110的內表面。

在本發明實施例中，防粘板150包括支撐基板151和設于支撐基板151表層的聚酰亞胺薄膜152，未蒸鍍到被蒸鍍基板130上的有機材料140可沉積在聚酰亞胺薄膜152的表面。