[發(fā)明專利]OLED蒸鍍設(shè)備及其防粘板

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710480800.1
• 申請日: 2017-06-22
• 公開（公告）號: CN107287559A
• 公開（公告）日: 2017-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 涂愛國;魏鋒;李金川;姜亮
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/12
• 分類號: C23C14/12;C23C14/24
• 代理公司: 深圳市威世博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)44280
• 代理人: 袁江龍

1.一種OLED蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述OLED蒸鍍設(shè)備包括殼體，所述殼體內(nèi)形成有蒸鍍腔，所述蒸鍍腔內(nèi)用于放置被蒸鍍基板和有機材料并在真空條件下使所述有機材料蒸發(fā)或升華并蒸鍍到所述被蒸鍍基板表面凝聚成膜，所述蒸鍍設(shè)備內(nèi)設(shè)有防粘板，所述防粘板覆蓋所述殼體的內(nèi)表面以對未蒸鍍到所述被蒸鍍基板上的所述有機材料進行收集，所述防粘板包括支撐基板和設(shè)于所述支撐基板表層的聚酰亞胺薄膜，未蒸鍍到所述被蒸鍍基板上的有機材料沉積在所述聚酰亞胺薄膜的表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述支撐基板為不銹鋼板，所述聚酰亞胺薄膜為一層或多層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述聚酰亞胺薄膜通過固定件與所述支撐基板相固定，所述固定件為螺釘或磁鐵。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述聚酰亞胺薄膜表面經(jīng)粗化處理形成粗糙結(jié)構(gòu)以增加附著力。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的OLED蒸鍍設(shè)備，其特征在于，所述粗糙結(jié)構(gòu)為設(shè)于所述聚酰亞胺薄膜表面的波紋齒結(jié)構(gòu)、鋸齒結(jié)構(gòu)或陣列凹陷結(jié)構(gòu)。

6.一種用于OLED蒸鍍設(shè)備的防粘板，其特征在于，所述防粘板包括支撐基板和設(shè)于所述支撐基板表層的聚酰亞胺薄膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于OLED蒸鍍設(shè)備的防粘板，其特征在于，所述支撐基板為不銹鋼板，所述聚酰亞胺薄膜為一層或多層。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于OLED蒸鍍設(shè)備的防粘板，其特征在于，所述聚酰亞胺薄膜通過固定件與所述支撐基板相固定，所述固定件為螺釘或磁鐵。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于OLED蒸鍍設(shè)備的防粘板，其特征在于，所述聚酰亞胺薄膜表面經(jīng)粗化處理形成粗糙結(jié)構(gòu)以增加附著力。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于OLED蒸鍍設(shè)備的防粘板，其特征在于，所述粗糙結(jié)構(gòu)為設(shè)于所述防粘板表面的波紋齒結(jié)構(gòu)、鋸齒結(jié)構(gòu)或陣列凹陷結(jié)構(gòu)。