[發(fā)明專利]太陽能電池的檢測方法與檢測系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710475420.9 | 申請日: | 2017-06-21 |
| 公開(公告)號: | CN109103118A | 公開(公告)日: | 2018-12-28 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 蔡政廷;楊蘭昇 | 申請(專利權(quán))人: | 致茂電子(蘇州)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金國 |
| 地址: | 215011 江蘇省蘇州市蘇州高*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 立體圖案 太陽能電池 檢測 陰影 檢測系統(tǒng) 影像 剝離 剝離狀態(tài) 照射光束 斜向 正向 擷取 分析 | ||
1.一種太陽能電池的檢測方法,用以檢測一太陽能電池的一立體圖案的剝離狀態(tài),其特征在于,該檢測方法包含:
斜向照射一光束至該太陽能電池的該立體圖案;
正向擷取該太陽能電池的影像;以及
根據(jù)該影像中的該立體圖案的陰影,判斷該立體圖案是否剝離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的檢測方法,其特征在于,根據(jù)該影像中的該立體圖案的陰影,判斷該立體圖案是否剝離包含若該陰影的形狀為曲線狀,判斷該立體圖案為剝離狀態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的檢測方法,其特征在于,根據(jù)該影像中的該立體圖案的陰影,判斷該立體圖案是否剝離包含若該陰影的形狀為直線狀,判斷該立體圖案為未剝離狀態(tài)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的檢測方法,其特征在于,根據(jù)該影像中的該立體圖案的陰影,判斷該立體圖案是否剝離包含若無陰影,則判斷該立體圖案為剝離狀態(tài)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的檢測方法,其特征在于,根據(jù)該影像中的該立體圖案的陰影,判斷該立體圖案是否剝離包含量測該陰影的寬度,用以判斷該立體圖案是否剝離。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的檢測方法,其特征在于,還包含增加該光束的亮度,用以增加該影像中的該立體圖案的影像與該陰影的對比度。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的太陽能電池的檢測方法,其特征在于,該太陽能電池還包含一墨跡,其中增加該光束的亮度,還包含用以增加該墨跡與該陰影的對比度,使該影像中的該墨跡的影像處于過度曝光狀態(tài)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的檢測方法,其特征在于,還包含將該光束準(zhǔn)直為平行光以照射該太陽能電池的該立體圖案。
9.一種太陽能電池的檢測系統(tǒng),其特征在于,包含:
一光源,用以提供一光束以斜向照射一待測面;
一擷取裝置,用以正向擷取位于該待測面的一太陽能電池的影像;以及
一分析模塊,電性連接該擷取裝置,其中該分析模塊用以根據(jù)該影像中該太陽能電池的一立體圖案的陰影,判斷該立體圖案是否剝離。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的太陽能電池的檢測系統(tǒng),其特征在于,該光源為平行光源。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





