[發明專利]一種金、銀和鈀的合金鍵合線及其制備方法

在審

• 申請號: 201710473009.8
• 申請日: 2017-06-15
• 公開（公告）號: CN107316854A
• 公開（公告）日: 2017-11-03
• 發明（設計）人: 李軍;田鵬
• 申請（專利權）人: 滕州晨暉電子集團股份有限公司
• 主分類號: H01L23/49
• 分類號: H01L23/49;H01L21/48;C22C5/06;C22C1/02;C22F1/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種金、銀和鈀的合金鍵合線，其特征在于，包括金元素、銀元素、鈀元素和雜質，金元素占總質量的質量分數為1-5％，鈀元素占總質量的質量分數為1-15％，銀元素占總質量的質量分數大于80％，余量為雜質。

2.根據權利要求1所述的金、銀和鈀的合金鍵合線，其特征在于，所述金和銀的純度不低于99.999％，鈀的純度不低于99.99％。

3.一種如權利要求1-2任一所述的金、銀和鈀的合金鍵合線的制備方法，其特征在于，具體步驟如下：

步驟一，稱取原料：稱取純度99.999％以上的金、純度99.999％以上的銀和純度99.99％以上的鈀；

步驟二，制備合金；在真空度不大子1*10^-3pa的環境下制備銀鈀預合金；

步驟三，熔鑄：在真空度不大于1*10^-3pa的中頻感應爐中，以1200-1300℃下精煉20-40分鐘，再以50-100mm/min的速度進行下引式真空連續連鑄，在水流量不低于10LPM以及水壓力不低于0.4Mpa的條件下冷卻，形成直徑為7mm的線坯；

步驟四，拉線：先用單模拉線機將直徑7mm線坯拉至直徑不大于1mm的線坯，再用多模拉線機將線材拉至直徑最小為0.012mm的成品線材，拉線速度為300-600m/min；

步驟五，清洗：對拉線后的線材清洗掉表面臟污；

步驟六，退火：將成品線材放入可控放線張力的自動放線豎式連續退火爐中進行退火處理，退火溫度為400-500℃，退火過程中無需惰性氣體保護；

步驟七，復繞：對退火后的鍵合線根據客戶要求進行復繞。