[發(fā)明專利]基于噴墨打印技術(shù)的像素結(jié)構(gòu)及其制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710464655.8
• 申請日: 2017-06-19
• 公開（公告）號: CN107195796B
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 方俊雄;吳元均;呂伯彥
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 北京聿宏知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11372
• 代理人: 吳大建;王浩

本發(fā)明提供一種基于噴墨打印技術(shù)的像素結(jié)構(gòu)及其制作方法，本發(fā)明中的像素結(jié)構(gòu)及其制作方法采用金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為陽極層的制作材料，采用導(dǎo)體化過程將陽極層分為導(dǎo)體區(qū)和半導(dǎo)體區(qū)。其中半導(dǎo)體區(qū)與現(xiàn)有技術(shù)中的介電層具有相同的作用。本發(fā)明中的制作方法避免了介電層的形成，因此制作過程簡單，并且得到的通過噴墨形成的有機功能層膜層均勻，有效提升了產(chǎn)品的品質(zhì)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發(fā)光二極管)制造領(lǐng)域，具體涉及基于噴墨打印技術(shù)的像素結(jié)構(gòu)及其制作方法。

背景技術(shù)

有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diodes，OLED)顯示器，又稱有機電致光發(fā)光顯示器，具有自發(fā)光、驅(qū)動電壓低、發(fā)光效率高、響應(yīng)時間短、清晰度與對比度高、寬視角、使用溫度范圍寬，可實現(xiàn)柔性顯示與大面積全色顯示等諸多優(yōu)點，被業(yè)界公認(rèn)為是最有發(fā)展?jié)摿Φ娘@示裝置。

現(xiàn)有技術(shù)中的OLED顯示面板一般包括依次形成于基板上的陽極、有機功能層和陰極，其中有機功能層一般包括設(shè)于陽極上的空穴注入層、設(shè)于空穴注入層上的空穴傳輸層、設(shè)于空穴傳輸層上的發(fā)光層、設(shè)于發(fā)光層上的電子傳輸層、設(shè)于電子傳輸層上的電子注入層。OLED顯示面板的發(fā)光原理為半導(dǎo)體材料和有機發(fā)光材料在電場驅(qū)動下，通過載流子注入和復(fù)合導(dǎo)致發(fā)光。具體的，在一定電壓驅(qū)動下，電子和空穴分別從陰極和陽極注入到電子傳輸層和空穴傳輸層，電子和空穴分別經(jīng)過電子傳輸層和空穴傳輸層遷移到發(fā)光層，并在發(fā)光層中相遇，形成激子并使發(fā)光分子激發(fā)，后者經(jīng)過輻射弛豫而發(fā)出可見光。

OLED顯示面板中有機功能層以及陰極金屬層薄膜最為傳統(tǒng)的制作方式是真空蒸鍍。隨著工藝的發(fā)展，一種相對于真空蒸鍍方式更具優(yōu)勢的噴墨打印(Ink-Jet Printing)逐漸被各大生產(chǎn)廠家所采用。

在OLED的制造工藝上，噴墨打印(Ink-Jet Printing)相比于蒸鍍在材料利用率以及成本上有較大的優(yōu)勢。但是隨著顯示面板的分辨率日益提高，如圖1所示為以往常用的RGB三色子像素單元相鄰排列(RGB strip Side by Side)的像素設(shè)計方式。由于顯示面板的分辨率日益提高，子像素單元的個數(shù)越來越多，子像素單元的尺寸越來越小，因此在子像素單元內(nèi)可供噴墨打印設(shè)備(Ink-Jet Printer)噴墨操作的區(qū)域較小。現(xiàn)有的噴墨打印設(shè)備(Ink-Jet Printer)的精準(zhǔn)度逐漸無法滿足顯示面板生產(chǎn)的需求。因此，噴墨打印設(shè)備(Ink-Jet Printer)的極限無法滿足制作較高分辨率的產(chǎn)品的要求。為了克服這一技術(shù)問題，出現(xiàn)了如圖2a所示的新型二合一(2in 1)的像素設(shè)計，可以有效增加噴墨打印設(shè)備(Ink-Jet Printer)噴墨的區(qū)域，因此可以滿足制作更高分辨率的產(chǎn)品的需求。如圖2b所示為圖2a中的單個的子像素結(jié)構(gòu)的放大結(jié)構(gòu)示意圖，圖2c是圖2b的A-A向剖視示意圖。為了清楚的說明現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，在圖2b和圖2c僅僅示意出了基板、陽極、介電層、像素范圍界定結(jié)構(gòu)以及有機功能層，其他部分的結(jié)構(gòu)不做具體的示意，但本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)需要進行具體的設(shè)定。如圖2b和圖2c所示，這種二合一(2in 1)的像素工藝是將兩個相鄰相同顏色的子像素結(jié)構(gòu)排列在一起，在基板1上，兩個相鄰的相同顏色的子像素結(jié)構(gòu)的陽極2中間用介電層3分隔開，在陽極2上設(shè)置有像素范圍界定結(jié)構(gòu)(Bank)4，像素范圍界定結(jié)構(gòu)(Bank)4用于定義噴墨區(qū)域。噴墨過程中利用噴墨打印設(shè)備(Ink-Jet Printer)的多個噴嘴將功能材料墨水滴入像素范圍界定結(jié)構(gòu)(Bank)4定義的噴墨區(qū)域，之后通過干燥獲得所需薄膜5。此種工藝存在一定的技術(shù)問題，首先該工藝在基板1上形成陽極2，然后需要對陽極進行蝕刻并形成介電層3，因此過程較為復(fù)雜，并且由于介電層3與像素范圍界定結(jié)構(gòu)(Bank)4對功能材料墨水(ink)的親疏水特性不同，容易造成功能材料墨水(ink)在噴墨區(qū)域內(nèi)的膜厚不均勻。

發(fā)明內(nèi)容

為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明提供一種基于噴墨打印技術(shù)的像素結(jié)構(gòu)制作方法，包括以下步驟：