[發明專利]一種量子點發光二極管器件及其制備方法在審
| 申請號: | 201710464619.1 | 申請日: | 2017-06-19 |
| 公開(公告)號: | CN109148649A | 公開(公告)日: | 2019-01-04 |
| 發明(設計)人: | 向超宇;錢磊;曹蔚然;楊一行 | 申請(專利權)人: | TCL集團股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L33/00 | 分類號: | H01L33/00;H01L33/06 |
| 代理公司: | 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 王永文;劉文求 |
| 地址: | 516006 廣東省*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 量子點 功能層 發光二極管器件 制備 發光層 交聯 沉積 發光二極管 材料選擇 發光效率 工藝過程 光電器件 交聯基團 使用壽命 陽極基板 等離子 副產物 陰極層 正交性 溶劑 溶質 | ||
1.一種量子點發光二極管器件的制備方法,其特征在于,包括步驟:
A、在底電極基板表面沉積第一功能層;
B、將所述第一功能層放入HHIC反應器中并通入H2,所述H2電離后形成H等離子,通過所述H等離子使所述第一功能層中的溶質成分交聯;
C、在交聯后的第一功能層表面沉積量子點發光層,并通過H等離子使所述量子點發光層中的量子點交聯;
D、在交聯后的量子點發光層表面沉積第二功能層,并通過H等離子使所述第二功能層中的溶質成分交聯;
E、在交聯后的第二功能層上沉積頂電極,制得量子點發光二極管。
2.根據權利要求1所述的量子點發光二極管器件的制備方法,其特征在于,所述H等離子的能量為1-100eV。
3.根據權利要求1所述的量子點發光二極管器件的制備方法,其特征在于,所述交聯反應時間均為1-30min。
4.根據權利要求1所述的量子點發光二極管器件的制備方法,其特征在于,所述第一功能層、量子點發光層以及第二功能層中的溶劑成分相同。
5.根據權利要求1所述的量子點發光二極管器件的制備方法,其特征在于,當所述量子點發光二極管器件為反型結構時,所述第一功能層為電子傳輸層、電子注入層或空穴阻擋層中的一種或多種,所述第二功能層為空穴傳輸層、空穴注入層或電子阻擋層中的一種或多種。
6.根據權利要求1所述的量子點發光二極管器件的制備方法,其特征在于,當所述量子點發光二極管器件為正型結構時,所述第一功能層為空穴傳輸層、空穴注入層或電子阻擋層中的一種或多種,所述第二功能層為電子傳輸層、電子注入層或空穴阻擋層中的一種或多種。
7.根據權利要求5或6所述的量子點發光二極管器件的制備方法,其特征在于,所述空穴傳輸層的材料為TFB、PVK、poly-TPD、PFB、TCTA、CBP、TPD、NPB、摻雜石墨烯、非摻雜石墨烯、C60、NiO、WO3、MoO3、CuO中的一種或多種。
8.根據權利要求5或6所述的量子點發光二極管器件的制備方法,其特征在于,所述電子傳輸層的材料為n型ZnO、TiO2、SnO、Ta2O3、AlZnO、ZnSnO、InSnO、Alq3、Ca、Ba、CsF、LiFCsCO3中的一種或多種。
9.根據權利要求1所述的量子點發光二極管器件的制備方法,其特征在于,所述量子點發光層的材料為II-VI族化合物、III-V族化合物、II-V族化合物、III-VI化合物、IV-VI族化合物、I-III-VI族化合物、II-IV-VI族化合物或IV族單質中的一種或多種。
10.一種量子點發光二極管器件,其特征在于,采用上述權利要求1-9任意一種量子點發光二極管器件的制備方法制備而成。
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