[發明專利]工件定位裝置及工件測量方法在審
| 申請號： | 201710462926.6 | 申請日： | 2017-06-19 |
| 公開（公告）號： | CN109141300A | 公開（公告）日： | 2019-01-04 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學澤;羅明浩;陳文慶 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B21/00 | 分類號： | G01B21/00;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 潘彥君;吳敏 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 夾具本體 工件定位裝置 待測工件 工件測量 配合連接 緊固件 卡持 套接 檢測 | ||
1.一種工件定位裝置，其特征在于，包括：
夾具本體，適于套接在待測工件內部，卡持所述待測工件，且所述夾具本體包含安裝部；
緊固件，適于與所述夾具本體的安裝部配合連接，將所述夾具本體固定在工作臺上。
2.根據權利要求1所述的工件定位裝置，其特征在于，所述夾具本體與所述待測工件的接觸面的形狀為圓形，所述待測工件為待測環體工件。
3.根據權利要求2所述的工件定位裝置，其特征在于，所述夾具本體的外直徑略小于所述待測環體工件的內直徑。
4.根據權利要求3所述的工件定位裝置，其特征在于，還包括：環形彈性體，設置于所述夾具本體與所述待測環體工件之間。
5.根據權利要求3所述的工件定位裝置，其特征在于，所述夾具本體的構造包括以下任意一種：圓錐型、圓面型及圓環型。
6.根據權利要求5所述的工件定位裝置，其特征在于，所述夾具本體還包括：凸出部，設置于所述夾具本體的外部邊緣側，與所述待測環體工件上的凹陷部卡合。
7.根據權利要求6所述的工件定位裝置，其特征在于，所述待測環體工件為半導體生產用化學機械研磨法用保持環。
8.根據權利要求6所述的工件定位裝置，其特征在于，所述安裝部為安裝孔。
9.根據權利要求8所述的工件定位裝置，其特征在于，所述夾具本體為圓面型構造時，所述安裝孔的數目為一個，設置于所述夾具本體的中心位置。
10.根據權利要求8所述的工件定位裝置，其特征在于，所述夾具本體為圓環型構造時，所述安裝部設置在所述夾具本體的環形面上。
11.根據權利要求10所述的工件定位裝置，其特征在于，所述安裝部的數目至少2個。
12.根據權利要求1所述的工件定位裝置，其特征在于，所述緊固件為銷子。
13.一種工件測量方法，其特征在于，包括：
將待測工件套接于固定在工作臺上的工件定位裝置的外部；
采用所述工件定位裝置所處位置對應的坐標系，對待測工件進行測量。
14.根據權利要求13所述的工件測量方法，其特征在于，所述工作臺為三坐標測量機的工作臺。
15.根據權利要求14所述的工件測量方法，其特征在于，所述待測工件為半導體生產用化學機械研磨法用保持環。
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