[發明專利]一種玻璃基板內缺陷檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 201710453855.3
• 申請日: 2017-06-15
• 公開（公告）號: CN106996937B
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發明（設計）人: 周波;李青;王麗紅;胡恒廣
• 申請（專利權）人: 福州東旭光電科技有限公司;東旭集團有限公司
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958
• 代理公司: 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙) 11447
• 代理人: 耿超;王浩然

1.一種玻璃基板內缺陷檢測方法，其特征在于，該玻璃基板內缺陷檢測方法包括：

將光源（1）和第一攝像裝置（2）分別設置在待檢測玻璃基板（3）板面的相對兩側；

在與待檢測玻璃基板（3）發生相對移動過程中，所述光源（1）發射的光線穿過待檢測玻璃基板（3）后射入所述第一攝像裝置（2）；

根據所述第一攝像裝置（2）內的視場識別待檢測玻璃基板（3）內是否存在缺陷；

在所述光源（1）和待檢測玻璃基板（3）發生相對移動過程中，設置第二攝像裝置（4），使第二攝像裝置（4）的焦點位于待檢測玻璃基板（3）內部所述光源（1）發射的光線上并且與待檢測玻璃基板（3）其中一個板面間的距離不大于待檢測玻璃基板（3）厚度的三分之一；當所述第一攝像裝置（2）內為變化的明亮視場時，根據所述第二攝像裝置（4）內的視場識別距離缺陷位置較近的待檢測玻璃基板（3）的板面；當所述第二攝像裝置（4）內為暗視場并閃現光線時，判斷缺陷位置接近于與所述第二攝像裝置（4）焦點距離較近的待檢測玻璃基板（3）的板面；當所述第二攝像裝置（4）內為暗視場且無光線時，判斷缺陷位置接近于與所述第二攝像裝置（4）焦點距離較遠的待檢測玻璃基板（3）的板面。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板內缺陷檢測方法，其中，

當所述第一攝像裝置（2）內為不變的明亮視場時，判斷待檢測玻璃基板（3）內無缺陷；

當所述第一攝像裝置（2）內為變化的明亮視場時，判斷待檢測玻璃基板（3）內存在缺陷。

3.根據權利要求1所述的玻璃基板內缺陷檢測方法，其中，所述第二攝像裝置（4）的焦點與待檢測玻璃基板（3）其中一個板面間的距離不大于待檢測玻璃基板（3）厚度的五分之一。

4.根據權利要求1-3中任意一項所述的玻璃基板內缺陷檢測方法，其中，所述玻璃基板內缺陷檢測方法在暗場環境中進行。

5.根據權利要求1-3中任意一項所述的玻璃基板內缺陷檢測方法，其中，所述第一攝像裝置（2）的光軸與所述光源（1）發射的光線平行。

6.根據權利要求3所述的玻璃基板內缺陷檢測方法，其中，在所述光源（1）和待檢測玻璃基板（3）發生相對移動過程中，保持所述光源（1）、所述第一攝像裝置（2）和所述第二攝像裝置（4）靜止移動待檢測玻璃基板（3）。

7.根據權利要求3所述的玻璃基板內缺陷檢測方法，其中，所述第二攝像裝置（4）的光軸與所述待檢測玻璃基板（3）的板面相垂直。