[發(fā)明專利]一種高效自動(dòng)化藍(lán)寶石襯底片堿酸清洗一體機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710450529.7
• 申請(qǐng)日: 2017-06-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107225112A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 秦俊;楊華;蔡金榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇吉星新材料有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 上海海頌知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31258
• 代理人: 陳麗君

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種高效自動(dòng)化藍(lán)寶石襯底片堿酸清洗一體機(jī)，屬于藍(lán)寶石襯底片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

藍(lán)寶石晶體具有優(yōu)良的光學(xué)性能、物理性能和穩(wěn)定的化學(xué)性能，廣泛應(yīng)用于高亮度LED襯底材料、各種光學(xué)元器件、掃描儀窗口材料。藍(lán)寶石襯底片由長(zhǎng)晶、掏棒、切片、退火、研磨、拋光等工序制得，加工過(guò)程中的清洗，特別是化學(xué)機(jī)械拋光后的清洗則是決定下道工序產(chǎn)品質(zhì)量的重要步驟和指標(biāo)，目前利用很多包括超聲波、兆聲波在內(nèi)的清洗方法和技術(shù)上，結(jié)合目前化學(xué)活性劑的加入，從而達(dá)到最佳的清洗效果。

藍(lán)寶石襯底片清洗主要分為堿洗和酸洗兩部分，現(xiàn)有的堿洗和酸洗兩部分是分開(kāi)的，所以藍(lán)寶石襯底片清洗需要采用周轉(zhuǎn)箱在堿洗和酸洗兩道工序間周轉(zhuǎn)，這種分開(kāi)的清洗方式不可避免的會(huì)引入外部臟污，從而影響晶片的潔凈度，一次成品率低，同時(shí)會(huì)大量清洗劑和水資源浪費(fèi)，特別是酸洗過(guò)程中，酸洗液由硫酸和過(guò)氧化氫組成，但過(guò)氧化氫容易分解，當(dāng)酸洗液中成分僅剩余硫酸時(shí)，清洗能力大大下降，造成生產(chǎn)周期和效率下降。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種高效自動(dòng)化藍(lán)寶石襯底片堿酸清洗一體機(jī)，可自動(dòng)化控制同機(jī)進(jìn)行堿洗和酸洗，避免周轉(zhuǎn)沾污，降低液耗，一次成品率高，利于提高加工效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

本發(fā)明是通過(guò)如下的技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)的：

一種高效自動(dòng)化藍(lán)寶石襯底片堿酸清洗一體機(jī)，包括機(jī)殼和PLC控制器，其中，所述機(jī)殼一側(cè)設(shè)有提升機(jī)構(gòu)，所述機(jī)殼內(nèi)設(shè)有若干槽體，由機(jī)殼一端至另一端，若干槽體依次為上料槽、第一清洗槽、第一堿洗槽、第一溢流槽、第二堿洗槽、第一噴淋槽、第二溢流槽、酸洗槽、第二噴淋槽、第二清洗槽和下料槽，所述酸洗槽連接有硫酸儲(chǔ)蓄槽和過(guò)氧化氫儲(chǔ)蓄槽，所述硫酸儲(chǔ)蓄槽和過(guò)氧化氫儲(chǔ)蓄槽與酸洗槽之間均設(shè)有補(bǔ)液泵；

所述硫酸儲(chǔ)蓄槽和過(guò)氧化氫儲(chǔ)蓄槽外分別設(shè)有第一液位控制器支架和第二液位控制器支架，所述第一液位控制器支架和第二液位控制器支架上設(shè)有若干液位傳感器，所述硫酸儲(chǔ)蓄槽連接有硫酸罐，所述過(guò)氧化氫儲(chǔ)蓄槽連接有過(guò)氧化氫罐，所述硫酸儲(chǔ)蓄槽與硫酸罐之間，過(guò)氧化氫儲(chǔ)蓄槽與過(guò)氧化氫罐之間均設(shè)有氣壓泵，所述補(bǔ)液泵、液位傳感器和氣壓泵均與PLC控制器電連接。

上述一種高效自動(dòng)化藍(lán)寶石襯底片堿酸清洗一體機(jī)，其中，所述提升機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)架、支臂、提升架和夾板，所述傳動(dòng)架上設(shè)有傳動(dòng)絲桿和絲桿電機(jī)，所述支臂底部與傳動(dòng)絲桿配合，所述提升架位于槽體頂部，且包括支撐架和套管，所述支撐架內(nèi)設(shè)有第一氣缸，所述第一氣缸底部與套管相連，所述夾板頂部與套管相連，且底部?jī)蓚?cè)分別設(shè)有第一夾片和第二夾片，所述第二夾片上設(shè)有第二氣缸，所述第一夾片和第二夾片上均設(shè)有吊孔，所述第一氣缸和第二氣缸均與PLC控制器電連接。

上述一種高效自動(dòng)化藍(lán)寶石襯底片堿酸清洗一體機(jī)，其中，所述槽體內(nèi)設(shè)有槽盒，所述槽盒兩側(cè)設(shè)有限位板，所述限位板截面呈L形，且與槽體端面配合，所述槽盒邊緣設(shè)有若干凹口，所述槽盒內(nèi)設(shè)有載板和吊籃，所述載板兩端與限位板配合，表面設(shè)有凸塊，所述凸塊內(nèi)設(shè)有插孔，所述吊籃底部設(shè)有插頭，兩側(cè)設(shè)有吊耳，且內(nèi)部設(shè)有若干載片架，所述插頭與插孔配合，所述吊籃和載板表面均設(shè)有若干腰型孔。

上述一種高效自動(dòng)化藍(lán)寶石襯底片堿酸清洗一體機(jī)，其中，所述上料槽、下料槽、第一堿洗槽、酸洗槽和提升機(jī)構(gòu)均有若干個(gè)。

上述一種高效自動(dòng)化藍(lán)寶石襯底片堿酸清洗一體機(jī)，其中，所述第一堿洗槽、第二堿洗槽、第一溢流槽和第二溢流槽外均設(shè)有超聲振蕩器。

上述一種高效自動(dòng)化藍(lán)寶石襯底片堿酸清洗一體機(jī)，其中，所述第一溢流槽和第二溢流槽外均設(shè)有溢流槽體。

上述一種高效自動(dòng)化藍(lán)寶石襯底片堿酸清洗一體機(jī)，其中，所述第一液位控制器支架上若干液位傳感器的位置由頂部至底部依次為第一過(guò)滿點(diǎn)、第一控制點(diǎn)和第一最低液位點(diǎn)，所述硫酸儲(chǔ)蓄槽、第一過(guò)滿點(diǎn)、第一控制點(diǎn)和第一最低液位點(diǎn)的高度依次為h1、h2、h3和h4，h1：h2：h3：h4=9:8:6:1。

上述一種高效自動(dòng)化藍(lán)寶石襯底片堿酸清洗一體機(jī)，其中，所述第二液位控制器支架上若干液位傳感器的位置由頂部至底部依次為第二過(guò)滿點(diǎn)、第二控制點(diǎn)、第三控制點(diǎn)和第二最低液位點(diǎn)，所述過(guò)氧化氫儲(chǔ)蓄槽、第二過(guò)滿點(diǎn)、第二控制點(diǎn)、第三控制點(diǎn)和第二最低液位點(diǎn)的高度依次為h5、h6、h7、h8和h9，h5：h6：h7：h8：h9=37:35:30:2:1。

本發(fā)明的有益效果為：