[發明專利]一種高效自動化藍寶石襯底片堿酸清洗一體機

在審

• 申請號: 201710450529.7
• 申請日: 2017-06-15
• 公開（公告）號: CN107225112A
• 公開（公告）日: 2017-10-03
• 發明（設計）人: 秦俊;楊華;蔡金榮
• 申請（專利權）人: 江蘇吉星新材料有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙)31258
• 代理人: 陳麗君

1.一種高效自動化藍寶石襯底片堿酸清洗一體機，包括機殼和PLC控制器，其中，所述機殼一側設有提升機構，所述機殼內設有若干槽體，由機殼一端至另一端，若干槽體依次為上料槽、第一清洗槽、第一堿洗槽、第一溢流槽、第二堿洗槽、第一噴淋槽、第二溢流槽、酸洗槽、第二噴淋槽、第二清洗槽和下料槽，所述酸洗槽連接有硫酸儲蓄槽和過氧化氫儲蓄槽，所述硫酸儲蓄槽和過氧化氫儲蓄槽與酸洗槽之間均設有補液泵；

所述硫酸儲蓄槽和過氧化氫儲蓄槽外分別設有第一液位控制器支架和第二液位控制器支架，所述第一液位控制器支架和第二液位控制器支架上設有若干液位傳感器，所述硫酸儲蓄槽連接有硫酸罐，所述過氧化氫儲蓄槽連接有過氧化氫罐，所述硫酸儲蓄槽與硫酸罐之間，過氧化氫儲蓄槽與過氧化氫罐之間均設有氣壓泵，所述補液泵、液位傳感器和氣壓泵均與PLC控制器電連接。

2.如權利要求1所述的一種高效自動化藍寶石襯底片堿酸清洗一體機，其特征為，所述提升機構包括傳動架、支臂、提升架和夾板，所述傳動架上設有傳動絲桿和絲桿電機，所述支臂底部與傳動絲桿配合，所述提升架位于槽體頂部，且包括支撐架和套管，所述支撐架內設有第一氣缸，所述第一氣缸底部與套管相連，所述夾板頂部與套管相連，且底部兩側分別設有第一夾片和第二夾片，所述第二夾片上設有第二氣缸，所述第一夾片和第二夾片上均設有吊孔，所述第一氣缸和第二氣缸均與PLC控制器電連接。

3.如權利要求1所述的一種高效自動化藍寶石襯底片堿酸清洗一體機，其特征為，所述槽體內設有槽盒，所述槽盒兩側設有限位板，所述限位板截面呈L形，且與槽體端面配合，所述槽盒邊緣設有若干凹口，所述槽盒內設有載板和吊籃，所述載板兩端與限位板配合，表面設有凸塊，所述凸塊內設有插孔，所述吊籃底部設有插頭，兩側設有吊耳，且內部設有若干載片架，所述插頭與插孔配合，所述吊籃和載板表面均設有若干腰型孔。

4.如權利要求1所述的一種高效自動化藍寶石襯底片堿酸清洗一體機，其特征為，所述上料槽、下料槽、第一堿洗槽、酸洗槽和提升機構均有若干個。

5.如權利要求1所述的一種高效自動化藍寶石襯底片堿酸清洗一體機，其特征為，所述第一堿洗槽、第二堿洗槽、第一溢流槽和第二溢流槽外均設有超聲振蕩器。

6.如權利要求1所述的一種高效自動化藍寶石襯底片堿酸清洗一體機，其特征為，所述第一溢流槽和第二溢流槽外均設有溢流槽體。

7.如權利要求1所述的一種高效自動化藍寶石襯底片堿酸清洗一體機，其特征為，所述第一液位控制器支架上若干液位傳感器的位置由頂部至底部依次為第一過滿點、第一控制點和第一最低液位點，所述硫酸儲蓄槽、第一過滿點、第一控制點和第一最低液位點的高度依次為h1、h2、h3和h4，h1：h2：h3：h4=9:8:6:1。

8.如權利要求1所述的一種高效自動化藍寶石襯底片堿酸清洗一體機，其特征為，所述第二液位控制器支架上若干液位傳感器的位置由頂部至底部依次為第二過滿點、第二控制點、第三控制點和第二最低液位點，所述過氧化氫儲蓄槽、第二過滿點、第二控制點、第三控制點和第二最低液位點的高度依次為h5、h6、h7、h8和h9，h5：h6：h7：h8：h9=37:35:30:2:1。