[發明專利]一種磁質譜分析器與雙離子源的聯接轉換裝置

有效

• 申請號: 201710448335.3
• 申請日: 2017-06-14
• 公開（公告）號: CN107359104B
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 郭春華;張建超
• 申請（專利權）人: 中國科學院地質與地球物理研究所
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京金智普華知識產權代理有限公司 11401
• 代理人: 巴曉艷

本發明公開了一種磁質譜分析器與雙離子源的聯接轉換裝置（100），包括：第一靜電分析器，通過第一法蘭（3）與所述雙離子源中的第一離子源（300）相聯接，并且所述第一靜電分析器的第一物點（1）與所述第一離子源（300）的像點相互重合；第二靜電分析器，通過第二法蘭（9）與所述雙離子源中的第二離子源（400）相聯接，并且所述第二靜電分析器的第二物點（11）與所述第二離子源（400）的像點相互重合；其中所述第一靜電分析器和所述第二靜電分析器共同通過第三法蘭（13）與所述磁質譜分析器（200）相聯接，并且所述第一靜電分析器和所述第二靜電分析器的共同成像點（14）與所述磁質譜分析器（200）的物點相互重合。

技術領域

本發明涉及質譜分析領域，特別涉及一種磁質譜分析器與雙離子源的聯接轉換裝置。

背景技術

磁式質譜儀按離子源分類，可分為熱電離質譜儀、穩定同位素質譜儀、電感耦合等離子質譜儀、惰性氣體質譜儀等。傳統磁質譜儀中每套磁質譜分析器1000和離子接收系統2000都配有單一離子源3000(如圖1所示，其中磁質譜分析器1000的功能例如可以為將由離子源發射過來的離子按照質荷比進行分離；而離子接收系統2000的功能例如可以為將磁質譜分析器分離的離子接收(利用法拉第杯、電子倍增器等)并轉換為電信號)，而這樣一套離子分離(磁質譜分析器和離子接收系統)造價非常昂貴。而且，單一離子源的質譜系統只能完成單一物質(例如固體或氣體等)的電離功能，無形中造成一定的資源浪費。

發明內容

本發明提供了一種磁質譜分析器與雙離子源的聯接轉換裝置，以解決現有技術中存在的以上問題以及其它潛在問題。

根據本公開的一個方面，提供了一種磁質譜分析器與雙離子源的聯接轉換裝置(100)，其特征在于，所述聯接轉換裝置(100)被聯接在所述磁質譜分析器(200)和所述雙離子源(300，400)之間，并且所述聯接轉換裝置(100)包括：第一靜電分析器，通過第一法蘭(3)與所述雙離子源中的第一離子源(300)相聯接，并且所述第一靜電分析器的第一物點(1)與所述第一離子源(300)的像點相互重合；第二靜電分析器，通過第二法蘭(9)與所述雙離子源中的第二離子源(400)相聯接，并且所述第二靜電分析器的第二物點(11)與所述第二離子源(400)的像點相互重合；其中所述第一靜電分析器和所述第二靜電分析器共同通過第三法蘭(13)與所述磁質譜分析器(200)相聯接，并且所述第一靜電分析器和所述第二靜電分析器的共同成像點(14)與所述磁質譜分析器(200)的物點相互重合；其中來自所述第一離子源(300)的第一離子經所述第一靜電分析器偏轉并能量聚焦后由所述磁質譜分析器(200)和與所述磁質譜分析器(200)相聯接的接收系統(500)進行質譜分析；并且來自所述第二離子源(400)的第二離子經所述第二靜電分析器偏轉并能量聚焦后由相同的所述磁質譜分析器(200)和所述接收系統(500)進行質譜分析。

根據本公開的實施例，其中：所述第一靜電分析器包括第一靜電分析器真空腔體(5)、以及位于所述第一靜電分析器真空腔體(5)內的曲率相同而半徑不同的第一帶電外偏轉板(4)和第一帶電內偏轉板(6)；所述第二靜電分析器包括第二靜電分析器真空腔體(7)、以及位于所述第二靜電分析器真空腔體(7)內的曲率相同而半徑不同的第二帶電外偏轉板(8)和第二帶電內偏轉板(12)。

根據本公開的實施例，其中：所述第一靜電分析器真空腔體(5)和所述第二靜電分析器真空腔體(7)都呈彎曲的管狀，并且在靠近所述第三法蘭(13)的位置相互貫通而且朝向第一方向(X)；所述第一靜電分析器真空腔體(5)在靠近所述第一法蘭(3)的位置處朝向第二方向(Y)，并且所述第二靜電分析器真空腔體(7)在靠近所述第二法蘭(9)的位置處朝向第三方向(Z)；其中所述第一方向(X)垂直于所述第二方向(Y)和所述第三方向(Z)。

根據本公開的實施例，其中：所述第一靜電分析器真空腔體(5)和所述第二靜電分析器真空腔體(7)相互對稱；并且所述第一方向(X)為豎直方向，所述第二方向(Y)和所述第三方向(Z)方向相反并且都處于水平方向上。