[發明專利]一種磁質譜分析器與雙離子源的聯接轉換裝置

有效

• 申請號: 201710448335.3
• 申請日: 2017-06-14
• 公開（公告）號: CN107359104B
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 郭春華;張建超
• 申請（專利權）人: 中國科學院地質與地球物理研究所
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京金智普華知識產權代理有限公司 11401
• 代理人: 巴曉艷

1.一種磁質譜分析器與雙離子源的聯接轉換裝置(100)，其特征在于，所述聯接轉換裝置(100)被聯接在所述磁質譜分析器(200)和所述雙離子源(300，400)之間，并且所述聯接轉換裝置(100)包括：

第一靜電分析器，通過第一法蘭(3)與所述雙離子源中的第一離子源(300)相聯接，并且所述第一靜電分析器的第一物點(1)與所述第一離子源(300)的像點相互重合；

第二靜電分析器，通過第二法蘭(9)與所述雙離子源中的第二離子源(400)相聯接，并且所述第二靜電分析器的第二物點(11)與所述第二離子源(400)的像點相互重合；

其中所述第一靜電分析器和所述第二靜電分析器共同通過第三法蘭(13)與所述磁質譜分析器(200)相聯接，并且所述第一靜電分析器和所述第二靜電分析器的共同成像點(14)與所述磁質譜分析器(200)的物點相互重合；

其中來自所述第一離子源(300)的第一離子經所述第一靜電分析器偏轉并能量聚焦后由所述磁質譜分析器(200)和與所述磁質譜分析器(200)相聯接的接收系統(500)進行質譜分析；并且來自所述第二離子源(400)的第二離子經所述第二靜電分析器偏轉并能量聚焦后由相同的所述磁質譜分析器(200)和所述接收系統(500)進行質譜分析。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，其中：

所述第一靜電分析器包括第一靜電分析器真空腔體(5)、以及位于所述第一靜電分析器真空腔體(5)內的曲率相同而半徑不同的第一帶電外偏轉板(4)和第一帶電內偏轉板(6)；

所述第二靜電分析器包括第二靜電分析器真空腔體(7)、以及位于所述第二靜電分析器真空腔體(7)內的曲率相同而半徑不同的第二帶電外偏轉板(8)和第二帶電內偏轉板(12)。

3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，其中：

所述第一靜電分析器真空腔體(5)和所述第二靜電分析器真空腔體(7)都呈彎曲的管狀，并且在靠近所述第三法蘭(13)的位置相互貫通而且朝向第一方向(X)；

所述第一靜電分析器真空腔體(5)在靠近所述第一法蘭(3)的位置處朝向第二方向(Y)，并且所述第二靜電分析器真空腔體(7)在靠近所述第二法蘭(9)的位置處朝向第三方向(Z)；

其中所述第一方向(X)垂直于所述第二方向(Y)和所述第三方向(Z)。

4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，其中：

所述第一靜電分析器真空腔體(5)和所述第二靜電分析器真空腔體(7)相互對稱；并且

所述第一方向(X)為豎直方向，所述第二方向(Y)和所述第三方向(Z)方向相反并且都處于水平方向上。

5.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，其中：

所述第一帶電外偏轉板(4)的半徑大于所述第一帶電內偏轉板(6)的半徑；

所述第二帶電外偏轉板(8)的半徑大于所述第二帶電內偏轉板(12)的半徑。

6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，其中：

當所述第一帶電外偏轉板(4)和所述第二帶電外偏轉板(8)上施加正電壓時，所述第一帶電內偏轉板(6)和所述第二帶電內偏轉板(12)上施加負電壓，以偏轉正離子；

當所述第一帶電外偏轉板(4)和所述第二帶電外偏轉板(8)上施加負電壓時，所述第一帶電內偏轉板(6)和所述第二帶電內偏轉板(12)上施加正電壓，以偏轉負離子。

7.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，其中：

所述第一法蘭(3)與所述第一離子源(300)之間還設有第一閘板閥(2)，以用于在所述第二離子源(400)工作時將所述第一離子源(300)與所述第一靜電分析器相互真空隔離；

所述第二法蘭(9)與所述第二離子源(400)之間還設有第二閘板閥(10)，以用于在所述第一離子源(300)工作時將所述第二離子源(400)與所述第二靜電分析器相互真空隔離。