[發明專利]陣列基板及其制作方法和顯示裝置

在審

• 申請號: 201710440207.4
• 申請日: 2017-06-12
• 公開（公告）號: CN107167972A
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 陳曉威
• 申請（專利權）人: 昆山龍騰光電有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362
• 代理公司: 上海波拓知識產權代理有限公司31264
• 代理人: 蔡光仟

技術領域

本發明涉及液晶顯示技術領域，特別涉及一種陣列基板及其制作方法和顯示裝置。

背景技術

液晶顯示模塊LCM(LCD Module)即LCD顯示模組或液晶模塊，是指將液晶顯示器件、連接件、控制與驅動等外圍電路、PCBA電路板、背光源等結構件裝配在一起的顯示組件。液晶顯示模塊主要包括背光模組和設置在背光模組上的顯示面板。顯示面板包括陣列基板、彩膜基板和設置于陣列基板與彩膜基板之間的液晶層。

圖1是現有的陣列基板的結構示意圖。如圖1所示，陣列基板30包括玻璃基板32和設置在玻璃基板32上的柵極33、柵極絕緣層34、有源層35，源極36、漏極37、絕緣層38和像素電極39。絕緣層38上設有露出漏極37的導通孔301，像素電極39通過導通孔301與漏極37電性連接。在TFT制程中，導通孔301的大小會影響整個陣列基板30的開口率，如果導通孔301過大，會降低陣列基板30的開口率；如果導通孔301過小，會增加漏極37與像素電極39的接觸阻抗，而接觸阻抗過大會影響產品的顯示品質，增加功耗，降低產品的可靠性。

發明內容

本發明的目的在于，提供了一種陣列基板，電極層與凹陷部的接觸面積增大，能有效降低接觸阻抗，有利于提高產品的顯示品質，同時降低產品功耗。

本發明解決其技術問題是采用以下的技術方案來實現的。

一種陣列基板，包括基板和設置在基板上的柵極、柵極絕緣層、有源層、源極、漏極、絕緣層和電極層，絕緣層上設有露出漏極的導通孔，電極層通過導通孔與漏極電性連接，柵極絕緣層上設有凹槽，漏極上設有與凹槽對應的凹陷部，電極層通過導通孔與漏極的凹陷部電性連接。

在本發明的較佳實施例中，上述凹槽呈弧形；凹陷部呈弧形。

在本發明的較佳實施例中，上述柵極絕緣層的厚度為300nm～500nm。

在本發明的較佳實施例中，上述凹槽的深度等于柵極絕緣層厚度的1/2～2/3。

本發明的另一目的在于，提供了一種陣列基板的制作方法，電極層與凹陷部的接觸面積增大，能有效降低接觸阻抗，有利于提高產品的顯示品質，同時降低產品功耗。

一種陣列基板的制作方法，該陣列基板的制作方法的步驟包括：

提供基板，在基板上依次形成柵極、柵極絕緣層、有源層、源極、漏極、絕緣層和電極層，其中絕緣層上設有露出漏極的導通孔，柵極絕緣層上設有凹槽，漏極上設有與凹槽對應的凹陷部，電極層通過導通孔與漏極的凹陷部電性連接。

在本發明的較佳實施例中，在柵極絕緣層上形成凹槽的步驟包括：

在柵極絕緣層上涂布光阻層，并以一道光罩圖案對光阻層進行曝光、顯影，形成光阻層圖案；然后以形成的光阻層圖案為遮罩對柵極絕緣層進行干蝕刻形成凹槽。

在本發明的較佳實施例中，在柵極絕緣層上形成凹槽的步驟還包括：

在柵極絕緣層上涂布光阻層后進行減壓干燥，增加底壓和時間，然后對光阻層進行軟烤和硬烤，在軟烤時降低軟烤溫度，在硬烤時升高硬烤溫度，通過曝光、顯影形成光阻層圖案，其中光阻層上形成多個開口，光阻層的厚度向著開口軸線的方向逐漸降低；然后以形成的光阻層圖案為遮罩對柵極絕緣層進行干蝕刻形成凹槽。

在本發明的較佳實施例中，上述凹槽呈弧形；凹陷部呈弧形。

在本發明的較佳實施例中，上述凹槽的深度等于柵極絕緣層厚度的1/2～2/3。

本發明的另一目的在于，提供了一種顯示裝置，電極層與凹陷部的接觸面積增大，能有效降低接觸阻抗，有利于提高產品的顯示品質，同時降低產品功耗。

一種顯示裝置，包括上述的陣列基板。

本發明的陣列基板包括基板和設置在基板上的柵極、柵極絕緣層、有源層、源極、漏極、絕緣層和電極層，絕緣層上設有露出漏極的導通孔，電極層通過導通孔與漏極電性連接，柵極絕緣層上設有凹槽，漏極上設有與凹槽對應的凹陷部，電極層通過導通孔與漏極的凹陷部電性連接。本發明的電極層與凹陷部的接觸面積增大，能有效降低電極層與凹陷部的接觸阻抗，有利于提高產品的顯示品質，同時降低了產品功耗。

上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本發明的上述其他目的、特征和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明。

附圖說明

圖1是現有的陣列基板的結構示意圖。

圖2是本發明的陣列基板的結構示意圖。

圖3a至圖3g是本發明的陣列基板的制作方法的流程示意圖。