[發明專利]陣列基板及其制作方法和顯示裝置

在審

• 申請號: 201710440207.4
• 申請日: 2017-06-12
• 公開（公告）號: CN107167972A
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 陳曉威
• 申請（專利權）人: 昆山龍騰光電有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362
• 代理公司: 上海波拓知識產權代理有限公司31264
• 代理人: 蔡光仟

1.一種陣列基板，包括基板(12)和設置在該基板(12)上的柵極(13)、柵極絕緣層(14)、有源層(15)、源極(16)、漏極(17)、絕緣層(18)和電極層(19)，該絕緣層(18)上設有露出該漏極(17)的導通孔(102)，該電極層(19)通過該導通孔(102)與該漏極(17)電性連接，其特征在于，該柵極絕緣層(14)上設有凹槽(101)，該漏極(17)上設有與該凹槽(101)對應的凹陷部(172)，該電極層(19)通過該導通孔(102)與該漏極(17)的凹陷部(172)電性連接。

2.如權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，該凹槽(101)呈弧形；該凹陷部(172)呈弧形。

3.如權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，該柵極絕緣層(14)的厚度為300nm～500nm。

4.如權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，該凹槽(101)的深度等于該柵極絕緣層(14)厚度的1/2～2/3。

5.一種陣列基板的制作方法，其特征在于，該陣列基板的制作方法的步驟包括：

提供基板(12)，在該基板(12)上依次形成柵極(13)、柵極絕緣層(14)、有源層(15)、源極(16)、漏極(17)、絕緣層(18)和電極層(19)，其中該絕緣層(18)上設有露出該漏極(17)的導通孔(102)，該柵極絕緣層(14)上設有凹槽(101)，該漏極(17)上設有與該凹槽(101)對應的凹陷部(172)，該電極層(19)通過該導通孔(102)與該漏極(17)的凹陷部(172)電性連接。

6.如權利要求5所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，在柵極絕緣層(14)上形成凹槽(101)的步驟包括：

在該柵極絕緣層(14)上涂布光阻層(20)，并以一道光罩圖案對光阻層(20)進行曝光、顯影，形成光阻層(20)圖案；然后以形成的光阻層(20)圖案為遮罩對該柵極絕緣層(14)進行干蝕刻形成凹槽(101)。

7.如權利要求6所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，在柵極絕緣層(14)上形成凹槽(101)的步驟還包括：

在該柵極絕緣層(14)上涂布光阻層(20)后進行減壓干燥，增加底壓和時間，然后對光阻層(20)進行軟烤和硬烤，在軟烤時降低軟烤溫度，在硬烤時升高硬烤溫度，通過曝光、顯影形成光阻層(20)圖案，其中光阻層(20)上形成多個開口(201)，該光阻層(20)的厚度向著開口(201)軸線的方向逐漸降低；然后以形成的光阻層(20)圖案為遮罩對該柵極絕緣層(14)進行干蝕刻形成凹槽(101)。

8.如權利要求5所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，該凹槽(101)呈弧形；該凹陷部(172)呈弧形。

9.如權利要求5所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，該凹槽(101)的深度等于該柵極絕緣層(14)厚度的1/2～2/3。

10.一種顯示裝置，其特征在于，包括權利要求1～4任意一項所述的陣列基板。