[發(fā)明專利]基板色度檢測方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710439652.9
• 申請日: 2017-06-12
• 公開（公告）號: CN107084927B
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 藍(lán)雷雷;歐陽昊;張遼;朱景河;黃偉東;李建華
• 申請（專利權(quán)）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

本發(fā)明涉及一種基板色度檢測方法及裝置，裝置包括：第一位移驅(qū)動機(jī)構(gòu)、第二位移驅(qū)動機(jī)構(gòu)、光源單元、光接收單元和處理單元；光源單元與光接收單元相向且相對設(shè)置，光接收單元與處理單元電連接；光源單元用于對齊待測基板的測試區(qū)域并向待測基板發(fā)射光束，測試區(qū)域?yàn)榇郎y基板在進(jìn)行顯影步驟后的無膜層圖案的區(qū)域；光接收單元用于接收從測試區(qū)域穿透的透射光；處理單元用于對光接收單元接收的透射光進(jìn)行解析，獲取測試區(qū)域的色度值。由于測試區(qū)域的尺寸遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于子像素線寬，通過對測試區(qū)域發(fā)射光束并接收透過測試區(qū)域的透射光，有效避免因子像素過于密集且線寬較小導(dǎo)致混色測量導(dǎo)致的偏差，有效提高色度的檢測精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示屏基板檢測技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及基板色度檢測方法及裝置。

背景技術(shù)

液晶顯示器(Liquid Crystal Display，簡稱LCD)被廣泛的應(yīng)用于手機(jī)、電視、筆記本電腦、臺式計(jì)算機(jī)、數(shù)字相機(jī)以及個人數(shù)字助理等各種消費(fèi)性電子產(chǎn)品，成為顯示裝置中的主流。

彩膜(Color Filter，簡稱CF)是實(shí)現(xiàn)LCD彩色顯示的關(guān)鍵材料，決定著顯示器的色彩、亮度和對比度等光學(xué)特性。在CF生產(chǎn)過程中，紅綠藍(lán)(Red，Green，Blue，簡稱RGB)膜層的色度對最終產(chǎn)品的良率有著重要的影響，故需要對RGB膜層的色度進(jìn)行管控。

傳統(tǒng)對RGB膜層的色度檢測是采用分光計(jì)來測量的，在生產(chǎn)過程中利用分光計(jì)對RGB色度進(jìn)行離線測量，對其不能做到時時監(jiān)控，無法做到對異常基板的及時發(fā)現(xiàn)與處理，增加了不良品流入下一制程的風(fēng)險。

傳統(tǒng)的分光計(jì)測量，測量前通過高精度的顯微鏡將像素放大，并將單一子像素選擇出來，接收單元獲取透過單一子像素的透射光譜，經(jīng)過處理后獲得色度值，在測量過程中需要將點(diǎn)光源與光探測頭對準(zhǔn)單一子像素的中心處，而彩膜RGB的單一子像素的線寬一般在20～100μm，故要求測量光束的寬度要小于子像素的線寬且設(shè)備運(yùn)動精度較好，才能防止因混色導(dǎo)致測量的誤差；對于高密度的像素，其子像素線寬小，且子像素之間的間隔較小，在測量時常常出現(xiàn)RGB混色嚴(yán)重，導(dǎo)致測量結(jié)果不準(zhǔn)確的現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要針對傳統(tǒng)的分光計(jì)對彩膜的色度檢測中，由于子像素的線寬較小，且子像素之間的間隔較小，在測量時常常出現(xiàn)RGB混色嚴(yán)重，導(dǎo)致測量結(jié)果不準(zhǔn)確的現(xiàn)象的缺陷，提供一種基板色度檢測方法及基板色度檢測裝置。

一種基板色度檢測裝置，包括：第一位移驅(qū)動機(jī)構(gòu)、第二位移驅(qū)動機(jī)構(gòu)、光源單元、光接收單元和處理單元；

所述第一位移驅(qū)動機(jī)構(gòu)與所述光源單元驅(qū)動連接，所述第二位移驅(qū)動機(jī)構(gòu)與所述光接收單元驅(qū)動連接，所述光源單元與所述光接收單元相向且相對設(shè)置，且所述光源單元與所述光接收單元用于分別設(shè)置于待測基板的兩側(cè)，所述光接收單元與所述處理單元電連接；

所述光源單元用于對齊所述待測基板的測試區(qū)域并向所述待測基板發(fā)射光束，其中所述測試區(qū)域?yàn)樗龃郎y基板在進(jìn)行涂膠、曝光和顯影步驟后的無膜層圖案的區(qū)域；

所述光接收單元用于接收從所述測試區(qū)域穿透的透射光；

所述處理單元用于對所述光接收單元接收的透射光進(jìn)行解析，獲取所述測試區(qū)域的色度值。

在其中一個實(shí)施例中，還包括判斷單元，所述判斷單元與所述處理單元電連接，所述判斷單元用于獲取所述處理單元的所述色度值，判斷所述色度值與預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)值是否匹配，生成判斷信息，輸出所述判斷信息。

在其中一個實(shí)施例中，還包括報警單元，所述報警單元與所述判斷單元電連接，所述報警單元用于在所述色度值與預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)值不匹配時發(fā)出警報。

在其中一個實(shí)施例中，所述光接收單元包括光學(xué)顯微鏡和圖像傳感器，所述光學(xué)顯微鏡用于對所述測試區(qū)域進(jìn)行光學(xué)放大，所述圖像傳感器用于通過所述光學(xué)顯微鏡獲取所述測試區(qū)域的圖像。