[發明專利]基板色度檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 201710439652.9
• 申請日: 2017-06-12
• 公開（公告）號: CN107084927B
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 藍雷雷;歐陽昊;張遼;朱景河;黃偉東;李建華
• 申請（專利權）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

1.一種基板色度檢測裝置，其特征在于，包括：第一位移驅動機構、第二位移驅動機構、光源單元、光接收單元和處理單元；

所述第一位移驅動機構與所述光源單元驅動連接，所述第二位移驅動機構與所述光接收單元驅動連接，所述光源單元與所述光接收單元相向且相對設置，且所述光源單元與所述光接收單元用于分別設置于待測基板的兩側，所述光接收單元與所述處理單元電連接；

所述光源單元用于對齊所述待測基板的測試區域并向所述待測基板發射光束，其中所述測試區域為所述待測基板在進行涂膠、曝光和顯影步驟后的無膜層圖案的區域，其中測試區域的尺寸大于子像素線寬；

所述光接收單元用于接收從所述測試區域穿透的透射光；

所述處理單元用于對所述光接收單元接收的透射光進行解析，獲取所述測試區域的色度值。

2.根據權利要求1所述的基板色度檢測裝置，其特征在于，還包括判斷單元，所述判斷單元與所述處理單元電連接，所述判斷單元用于獲取所述處理單元的所述色度值，判斷所述色度值與預設標準值是否匹配，生成判斷信息，輸出所述判斷信息，基板色度檢測裝置還包括顯示單元，所述顯示單元與所述判斷單元連接，所述判斷單元用于將所述判斷信息輸出至所述顯示單元，所述顯示單元用于顯示所述判斷信息。

3.根據權利要求2所述的基板色度檢測裝置，其特征在于，還包括報警單元，所述報警單元與所述判斷單元電連接，所述報警單元用于在所述色度值與預設標準值不匹配時發出警報。

4.根據權利要求1所述的基板色度檢測裝置，其特征在于，所述光接收單元包括光學顯微鏡和圖像傳感器，所述光學顯微鏡用于對所述測試區域進行光學放大，所述圖像傳感器用于通過所述光學顯微鏡獲取所述測試區域的圖像。

5.根據權利要求1所述的基板色度檢測裝置，其特征在于，所述光接收單元還包括光譜探測器，所述光譜探測器用于接收所述透射光，獲取所述透射光的光譜；

所述處理單元用于對所述透射光的光譜進行解析，獲取所述測試區域的所述色度值。

6.根據權利要求1所述的基板色度檢測裝置，其特征在于，還包括控制單元，所述控制單元分別與所述第一位移驅動機構以及所述第二位移驅動機構電連接，所述控制單元用于獲取預設圖案，根據所述預設圖案獲取所述待測基板上的各所述測試區域的位置信息，根據所述位置信息控制所述第一位移驅動機構以及所述第二位移驅動機構。

7.根據權利要求1所述的基板色度檢測裝置，其特征在于，還包括傳輸機構，所述傳輸機構設置于所述第一位移驅動機構以及所述第二位移驅動機構之間，所述傳輸機構用于傳輸所述待測基板，并用于將所述待測基板傳輸至所述第一位移驅動機構以及所述第二位移驅動機構之間。

8.一種基板色度檢測方法，其特征在于，包括：

對齊待測基板的測試區域向所述待測基板發射光束，其中所述測試區域為所述待測基板在進行涂膠、曝光和顯影步驟后的無膜層圖案的區域，其中測試區域的尺寸大于子像素線寬；

接收從所述測試區域穿透的透射光；

對所述透射光進行解析，獲取所述測試區域的色度值。

9.根據權利要求8所述的基板色度檢測方法，其特征在于，在所述向所述待測基板發射光束的步驟之前還包括：

提供經過涂膠且未經過曝光的待測基板。

10.根據權利要求8所述的基板色度檢測方法，其特征在于，所述對所述透射光進行解析，獲取所述測試區域的色度值的步驟包括：

對所述透射光進行解析，獲取所述透射光的光譜；

對所述透射光的光譜進行解析，獲取所述測試區域的所述色度值。