[發明專利]蒸鍍系統和蒸鍍系統的蒸鍍方法

有效

• 申請號: 201710439046.7
• 申請日: 2017-06-12
• 公開（公告）號: CN107254673B
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發明（設計）人: 尹志中
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 黃德海

本發明公開了一種蒸鍍系統和蒸鍍系統的蒸鍍方法，蒸鍍系統包括：至少一條蒸鍍線、第一傳送軌道和托盤，每條蒸鍍線包括蒸鍍腔室，蒸鍍腔室包括多個子蒸鍍腔，多個子蒸鍍腔依次相連，蒸鍍腔室的一端形成有蒸鍍線入口、另一端形成有蒸鍍線出口，子蒸鍍腔內設有蒸發源組件；第一傳送軌道穿設在蒸鍍線入口和蒸鍍線出口之間，第一傳送軌道位于蒸發源組件的上方；托盤包括用于放置工件的托架，托盤可移動地設在第一傳送軌道上以在蒸鍍線入口和蒸鍍線出口之間傳送工件使蒸發源組件對工件進行蒸鍍。根據本發明實施例的蒸鍍系統，優化了蒸鍍線的布局，簡化了操作步驟，提高了空間利用率，減小了蒸鍍系統的整體占用空間和成本。

技術領域

本發明涉及蒸鍍技術領域，尤其是涉及一種蒸鍍系統和蒸鍍系統的蒸鍍方法。

背景技術

相關技術中，蒸鍍系統的子蒸鍍腔位于傳送裝置的兩側，并通過機械手做旋轉運動在子蒸鍍腔之間、子蒸鍍腔與傳送腔室之間傳遞工件，整個蒸鍍系統中的機械手數量多，占用空間大且操作復雜，同時蒸鍍系統的空間利用率不高，空間浪費現象嚴重、布局不合理。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本發明提出一種蒸鍍系統，所述蒸鍍系統的布局合理、操作簡單。

本發明的另一個目的在于提出了一種蒸鍍系統的蒸鍍方法。

根據本發明第一方面實施例的蒸鍍系統，包括：至少一條蒸鍍線，每條所述蒸鍍線包括蒸鍍腔室，所述蒸鍍腔室包括多個子蒸鍍腔，多個所述子蒸鍍腔依次相連，所述蒸鍍腔室的一端形成有蒸鍍線入口、另一端形成有蒸鍍線出口，所述子蒸鍍腔內設有蒸發源組件；第一傳送軌道，所述第一傳送軌道穿設在所述蒸鍍線入口和所述蒸鍍線出口之間，所述第一傳送軌道位于所述蒸發源組件的上方；托盤，所述托盤包括用于放置工件的托架，所述托盤可移動地設在所述第一傳送軌道上以在所述蒸鍍線入口和所述蒸鍍線出口之間傳送所述工件使所述蒸發源組件對所述工件進行蒸鍍。

根據本發明實施例的蒸鍍系統，通過使得蒸鍍腔室的多個子蒸鍍腔依次相連，并在蒸鍍系統中設置第一傳送軌道和托盤，使得托盤在第一傳送軌道上移動以在各子蒸鍍腔傳遞工件，省去了相關技術中設置在各子蒸鍍腔之間用于傳遞工件的機械手和機械手在各子蒸鍍腔之間的傳遞工序，簡化了操作步驟，降低了工件在傳遞過程中破碎的風險，減小了工件與正常蒸鍍位置之間的偏差，降低了對位工序的難度，同時優化了蒸鍍線的布局，提高了空間利用率，使得蒸鍍線的結構更加緊湊、布局更加合理，減小了蒸鍍系統的整體占用空間和成本。

根據本發明的一些實施例，所述蒸鍍系統還包括：第二傳送軌道，所述第二傳送軌道設在所述蒸鍍腔室外，所述第二傳送軌道與所述第一傳送軌道圍成環形軌道以使所述托盤在所述蒸鍍線入口和所述蒸鍍線出口之間循環移動。

根據本發明的一些具體實施例，所述蒸鍍線為多條，所述第二傳送軌道連接在相鄰的兩條所述蒸鍍線之間，所述第二傳送軌道的一端與相鄰的兩條所述蒸鍍線中的其中一條所述蒸鍍線的所述蒸鍍線出口相連、另一端與相鄰的兩條所述蒸鍍線中的另一條所述蒸鍍線的所述蒸鍍線入口相連以在多條所述蒸鍍線之間形成所述環形軌道。

根據本發明的另一些具體實施例，所述第二傳送軌道連接在每條所述蒸鍍線的所述蒸鍍線出口和所述蒸鍍線入口之間以在每條所述蒸鍍線之間形成所述環形軌道。

可選地，所述環形軌道形成為多邊形軌道。

根據本發明的一些實施例，多條所述蒸鍍線的所述第一傳送軌道和所述第二傳送軌道圍成方形的所述環形軌道。

具體地，所述蒸鍍線為兩條，兩條所述蒸鍍線的所述蒸鍍腔室相互平行，且兩條所述蒸鍍線中的所述工件的移動方向相反。

可選地，所述第一傳送軌道和所述第二傳送軌道均為滾珠絲杠導軌。