[發明專利]蒸鍍系統和蒸鍍系統的蒸鍍方法

有效

• 申請號: 201710439046.7
• 申請日: 2017-06-12
• 公開（公告）號: CN107254673B
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發明（設計）人: 尹志中
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 黃德海

1.一種蒸鍍系統，其特征在于，包括：

至少一條蒸鍍線，每條所述蒸鍍線包括蒸鍍腔室，所述蒸鍍腔室包括多個子蒸鍍腔，多個所述子蒸鍍腔依次相連，所述蒸鍍腔室的一端形成有蒸鍍線入口、另一端形成有蒸鍍線出口，所述子蒸鍍腔內設有蒸發源組件；

第一傳送軌道，所述第一傳送軌道穿設在所述蒸鍍線入口和所述蒸鍍線出口之間，所述第一傳送軌道位于所述蒸發源組件的上方；

托盤，所述托盤包括用于放置工件的托架，所述托盤可移動地設在所述第一傳送軌道上以在所述蒸鍍線入口和所述蒸鍍線出口之間傳送所述工件使所述蒸發源組件對所述工件進行蒸鍍。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍系統，其特征在于，還包括：

第二傳送軌道，所述第二傳送軌道設在所述蒸鍍腔室外，所述第二傳送軌道與所述第一傳送軌道圍成環形軌道以使所述托盤在所述蒸鍍線入口和所述蒸鍍線出口之間循環移動。

3.根據權利要求2所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述蒸鍍線為多條，所述第二傳送軌道連接在相鄰的兩條所述蒸鍍線之間，所述第二傳送軌道的一端與相鄰的兩條所述蒸鍍線中的其中一條所述蒸鍍線的所述蒸鍍線出口相連、另一端與相鄰的兩條所述蒸鍍線中的另一條所述蒸鍍線的所述蒸鍍線入口相連以在多條所述蒸鍍線之間形成所述環形軌道。

4.根據權利要求1所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述蒸鍍線還包括：

入口過渡腔，所述入口過渡腔位于所述蒸鍍線入口的上游，所述入口過渡腔和所述蒸鍍線入口之間設有至少一個第一對位機構，所述第一對位機構被構造成對所述工件進行預對位。

5.根據權利要求4所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述蒸鍍線還包括：

掩膜板，所述掩膜板設在所述工件和所述蒸發源組件之間；

至少一個所述子蒸鍍腔內設有第二對位機構，所述第二對位機構被構造成對所述工件進行對位以使所述工件的待蒸鍍區對準所述掩膜板的圖案。

6.根據權利要求5所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述第二對位機構包括：

對位板，所述對位板位于所述第一傳送軌道的上方，所述對位板上設有向下延伸的對位部；

控制器，所述控制器與所述對位板相連，所述控制器被構造成控制所述對位板移動以使所述對位部對所述工件進行對位；和

彈性調節機構，所述彈性調節機構設在所述托盤的底部。

7.根據權利要求6所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述對位部為兩個，兩個所述對位部間隔設置，且在從上到下的方向上，兩個所述對位部彼此相對的一側表面分別朝向遠離彼此的方向傾斜延伸。

8.根據權利要求1所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述蒸鍍線還包括：

多個掩膜板室，每個所述掩膜板室內設有多個掩膜板，多個所述掩膜板室與多個所述子蒸鍍腔一一對應，所述掩膜板室和與其對應的所述子蒸鍍腔之間設有連通通道，所述掩膜板在所述連通通道內可移動以對所述子蒸鍍腔內的所述掩膜板進行更換；

更換裝置，所述更換裝置在所述掩膜板室和與其對應的所述子蒸鍍腔之間可移動，所述更換裝置被構造成將所述子蒸鍍腔內的所述掩膜板取出并將所述掩膜板室內的所述掩膜板運輸到所述子蒸鍍腔內以更換所述子蒸鍍腔內的所述掩膜板。

9.根據權利要求8所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述更換裝置包括推拉桿，所述推拉桿在所述掩膜板室和與其對應的所述子蒸鍍腔之間可移動，所述掩膜板的鄰近所述推拉桿的側壁上設有配合孔，所述推拉桿適于伸入所述配合孔內以在所述推拉桿移動時帶動所述掩膜板移動。

10.一種根據權利要求1-9中任一項所述的蒸鍍系統的蒸鍍方法，其特征在于，包括以下步驟：

將所述工件放置在所述蒸鍍線入口處的所述托盤上；

所述工件隨所述托盤進入所述蒸鍍腔室并在多個所述子蒸鍍腔之間依次移動以對所述工件進行蒸鍍；

蒸鍍后的所述工件隨所述托盤移動至所述蒸鍍線出口外；

將蒸鍍后的所述工件從所述托盤中取出，并將所述工件送至下一個工序。