[發(fā)明專利]真空控制閥

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710436765.3
• 申請日: 2017-06-12
• 公開（公告）號: CN107504249B
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: M·內(nèi)策;丹尼爾·塞茨;H·松德雷格
• 申請（專利權(quán)）人: VAT控股公司
• 主分類號: F16K31/04
• 分類號: F16K31/04;F16K1/36;F16K1/32
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 呂俊剛;楊薇

本發(fā)明涉及真空控制閥。真空控制閥具有閥座，包括限定開口軸線的閥開口和圍繞開口并限定第一密封平面的第一密封表面；帶對應于第一密封表面且限定第二密封平面的第二密封表面的閥盤；第一聯(lián)接元件，連接到閥盤且包括接納裝置，用于提供閥盤的受控引導；驅(qū)動單元，與第一聯(lián)接元件聯(lián)接且構(gòu)造為使閥盤能從打開位置調(diào)整到關(guān)閉位置并返回，在打開位置閥盤和閥座彼此以無接觸方式存在，在關(guān)閉位置第二密封表面借助密封件壓靠第一密封表面。驅(qū)動單元和閥盤構(gòu)造和相互作用，使得閥盤能調(diào)整到精細控制位置，其中閥盤相對于閥座以限定方式傾斜，使得第一和第二密封平面圍成限定角度，密封件充分緊靠一個密封表面且僅部分緊靠另一個。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種真空控制閥，該真空控制閥具有閥盤和按照至少三級用于該閥盤的導向件。

背景技術(shù)

一般而言，從現(xiàn)有技術(shù)中已知用于以基本上氣密的方式關(guān)閉穿過形成在閥殼體中的開口的流路的真空閥的不同的實施方式。

特別地，必須在盡可能不存在污染微粒子的受保護大氣中發(fā)生的IC和半導體制造的領(lǐng)域中，使用真空滑動閥。例如，在半導體晶片或液晶基板的生產(chǎn)工廠中，高度敏感的半導體或液晶元件順序地穿過數(shù)個工藝室，其中位于工藝室內(nèi)部的半導體元件在每種情況下借助于一個處理設(shè)備被處理。在工藝室內(nèi)部的處理工藝期間以及在從工藝室到工藝室的傳輸期間，高度敏感的半導體元件總是必須位于受保護大氣中-特別在真空中。

工藝室例如借助于連接通路連接在一起，能夠借助于用于將零件從一個工藝室傳遞到下一個工藝室的真空滑動閥來打開工藝室并且然后關(guān)閉它們從而以氣密方式執(zhí)行相應的生產(chǎn)步驟。這些類型的閥由于所描述的應用領(lǐng)域也被稱為真空傳遞閥并且由于它們的矩形橫截面開口也被稱為矩形滑動器。

另外，當使用傳遞閥時，在高度敏感的半導體元件的生產(chǎn)期間，必須使特別通過閥的致動并且通過閥封閉構(gòu)件上的機械載荷所導致的粒子產(chǎn)生以及閥空間中的自由粒子的數(shù)量保持得盡可能小。粒子產(chǎn)生主要是摩擦的結(jié)果，例如通過金屬到金屬接觸并且通過磨蝕產(chǎn)生。

取決于相應的驅(qū)動技術(shù)，特別是在滑動閥(也被稱作閥滑動器或矩形滑動器)與擺閥之間存在區(qū)別，在現(xiàn)有技術(shù)中在大多數(shù)情況下用兩個步驟實現(xiàn)關(guān)閉和打開。在第一步驟中，閥封閉構(gòu)件(特別是封閉盤)在滑動閥(諸如，例如US 6,416,037(Geiser)或US 6,056,266(Blecha)中公開的，特別是L型的)情況下通過開口以與閥座基本上平行的線性方式移位，或者在擺閥(諸如，例如US 6,089,537(Olmsted)中公開的)情況下，通過開口繞樞轉(zhuǎn)軸線樞轉(zhuǎn)，而在這方面在封閉盤與閥殼體的閥座之間不發(fā)生接觸。在第二步驟中，封閉盤通過其封閉側(cè)被壓到閥殼體的閥座上，使得開口以氣密方式關(guān)閉?？衫缃柚诒徊贾迷诜忾]盤的封閉側(cè)并且被壓到圍繞開口延伸的閥座上的密封件，或者借助于封閉盤的封閉側(cè)被壓向的閥座上的密封圈來實現(xiàn)密封。密封件特別是密封圈可被保持在凹槽中和/或固化在上面。

在現(xiàn)有技術(shù)中(例如，在US 6,629,682 B2(Duelli)中)公開了不同的密封設(shè)備。用于真空閥中的密封圈和密封件的適合的材料例如是氟橡膠(也被稱作FKM，特別是通過“Viton”的商品名所獲知的含氟彈性體)和全氟橡膠(簡稱FFKM)。

所描述的封閉構(gòu)件首先在密封件不被閥座接觸的情況下通過開口橫向地滑動并且封閉構(gòu)件然后被基本上垂直地按壓到閥座上的多級移動除了提供密封件被幾乎排他地垂直地按壓而密封件不會被橫向地或縱向地加載的優(yōu)點之外，還提供控制通過閥開口的介質(zhì)(例如，工藝氣體)的流的可能性。

使得能實現(xiàn)封閉構(gòu)件的L形移動的一個單個驅(qū)動器、或多個驅(qū)動器(例如，兩個線性驅(qū)動器或一個線性驅(qū)動器和一個擴張驅(qū)動器)被用于此目的。

在上述閥類型的常見實施方式中，封閉構(gòu)件(閥盤)和閥驅(qū)動器借助于至少一個調(diào)整臂(特別是推桿或閥桿)連接。在這方面，剛性調(diào)整臂通過其一端部以剛性方式連接到封閉構(gòu)件并且通過其另一端部以剛性方式連接到閥驅(qū)動器。封閉盤在大多數(shù)閥的情況下借助于螺紋連接而連接到至少一個推桿。