[發(fā)明專利]量子芯片、量子數(shù)據(jù)總線、微波傳輸線諧振腔及制備方法

有效

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• 申請日: 2017-06-09
• 公開（公告）號: CN107069173B
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發(fā)明（設計）人: 郭國平;楊鑫鑫;賈志龍;孔偉成;段鵬;薛光明
• 申請（專利權）人: 中國科學技術大學
• 主分類號: H01P7/06
• 分類號: H01P7/06;H01P3/00;H01P11/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

1.一種微波傳輸線諧振腔，其特征在于，包括：基片、位于所述基片表面的中心節(jié)點和至少三個終端；其中，

所述中心節(jié)點與每個所述終端通過傳輸線連接，所述中心節(jié)點的任意邊長大于所述傳輸線的寬度，且在同一直線上，所述中心節(jié)點與每個所述終端之間的傳輸線長度均相等；

位于同一直線上的每兩個所述終端之間的傳輸線長度均相等。

2.根據(jù)權利要求1所述的微波傳輸線諧振腔，其特征在于，所述終端為共面波導終端或交指電容終端或微帶線終端。

3.根據(jù)權利要求1所述的微波傳輸線諧振腔，其特征在于，還包括：至少一個次級節(jié)點；

所述次級節(jié)點位于所述中心節(jié)點與一個所述終端之間，所述次級節(jié)點到預設終端的距離與所述次級節(jié)點到中心節(jié)點的距離之比小于或等于1，所述預設終端為與所述次級節(jié)點和中心節(jié)點位于同一傳輸線，且距離所述次級節(jié)點最近的終端；

所述次級節(jié)點通過所述傳輸線連接兩個所述終端。

4.根據(jù)權利要求3所述的微波傳輸線諧振腔，其特征在于，所述終端的數(shù)量為8個，所述次級節(jié)點的數(shù)量為4個；

8個所述終端通過所述傳輸線與所述中心節(jié)點連接；

4個所述次級節(jié)點位于所述中心節(jié)點與所述終端連接的中點。

5.根據(jù)權利要求1所述的微波傳輸線諧振腔，其特征在于，所述中心節(jié)點、終端和傳輸線的制備材料為鈮。

6.根據(jù)權利要求1所述的微波傳輸線諧振腔，其特征在于，所述傳輸線的形狀為直線形狀或曲線形狀。

7.根據(jù)權利要求1所述的微波傳輸線諧振腔，其特征在于，所述基片為單晶硅基片或藍寶石基片。

8.一種微波傳輸線諧振腔的制備方法，其特征在于，包括：

提供基片；

在所述基片表面形成一層預設金屬層；

對所述預設金屬層進行刻蝕，形成中心節(jié)點和通過傳輸線與所述中心節(jié)點連接的至少三個終端；

所述中心節(jié)點的任意邊長大于所述傳輸線的寬度，且在同一直線上，所述中心節(jié)點與每個所述終端之間的傳輸線長度均相等；

位于同一直線上的每兩個所述終端之間的傳輸線長度均相等。

9.一種量子數(shù)據(jù)總線，其特征在于，包括如權利要求1-7任一項所述的微波傳輸線諧振腔。

10.一種量子芯片，其特征在于，包括量子比特及如權利要求1-7任一項所述的微波傳輸線諧振腔。