[發明專利]靶材的包裝方法和包裝工具

有效

• 申請號: 201710426819.8
• 申請日: 2017-06-08
• 公開（公告）號: CN109018702B
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學澤;羅明浩;阮力超
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B65D81/20
• 分類號: B65D81/20;B65D59/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 徐文欣;吳敏

1.一種靶材包裝工具，所述靶材為圓柱體，所述靶材包括濺射面和位于所述靶材濺射面內的溝槽，所述濺射面為圓形，所述溝槽為沿靶材一條直徑方向延伸的長條型；所述溝槽中具有斷開部，間隔排列的溝槽的斷開部沿垂直于所述溝槽延伸方向排列，其特征在于，包括：

保護體，所述保護體為圓柱體，所述保護體包括接觸面，所述保護體包括中心區域和包圍所述中心區域的外圍區域，所述保護體的中心區域接觸面用于與所述靶材濺射面貼合，所述保護體接觸面的直徑與所述濺射面的直徑相等；

位于所述中心區域保護體的接觸面上的卡件，所述卡件用于放置于所述溝槽中，所述卡件為沿保護體一條直徑延伸的長條型；所述卡件具有開口，間隔排列的卡件中的開口沿垂直于所述卡件延伸方向排列，所述開口用于容納所述斷開部；

所述靶材的厚度為23mm～28mm；所述溝槽的寬度為3mm～3.5mm；所述溝槽之間的間距為9mm～11mm；所述保護體的厚度為26mm～30mm；

所述溝槽的個數為多個；

所述靶材的材料為銅、鋁、鐵、鎳或鉻；

所述保護體的材料為有機玻璃。

2.如權利要求1所述的靶材包裝工具，其特征在于，所述卡件的材料為有機玻璃。

3.如權利要求1所述的靶材包裝工具，其特征在于，所述溝槽為長條形，所述卡件為長條型。

4.如權利要求1所述的靶材包裝工具，其特征在于，所述卡件沿垂直于所述接觸面上的尺寸等于或小于所述溝槽沿垂直于所述濺射面上的尺寸。

5.如權利要求1所述的靶材包裝工具，其特征在于，所述卡件的個數為1個或多個。

6.如權利要求5所述的靶材包裝工具，其特征在于，所述卡件與溝槽的個數相同；

相鄰溝槽中心之間的距離等于相鄰卡件中心之間的距離。

7.如權利要求1所述的靶材包裝工具，其特征在于，所述靶材濺射面內還具有插孔，所述靶材包裝工具還包括：位于所述保護體接觸面上的插件，所述插件用于置于所述插孔中。

8.如權利要求7所述的靶材包裝工具，其特征在于，所述插孔的個數為4個，4個所述插孔排列為正方形；所述插件的個數為4個，4個所述插件排列為正方形；所述插孔排列形成的正方形與所述插件形成的正方形的邊長相等。

9.如權利要求7所述的靶材包裝工具，其特征在于，所述插孔為圓孔，所述插件為圓柱體；所述插件的高度等于或小于所述插孔的深度。

10.如權利要求7所述的靶材包裝工具，其特征在于，所述插件的材料與所述保護體的材料相同。

11.如權利要求1所述的靶材包裝工具，其特征在于，所述靶材還包括包圍所述中心區域的外圍區域，所述靶材包裝工具還包括：位于所述外圍區域保護體接觸面上的卡環，所述卡環圍成空隙，所述空隙用于容納所述靶材。

12.如權利要求11所述的靶材包裝工具，其特征在于，所述靶材濺射面為圓形，所述卡環為圓環；或者，所述靶材濺射面為多邊形，所述卡環為多邊形環。

13.如權利要求11所述的靶材包裝工具，其特征在于，所述卡環的材料與所述保護體的材料相同。

14.如權利要求11所述的靶材包裝工具，其特征在于，所述卡環為圓環，所述卡環沿直徑方向上的尺寸為4.5mm～5.5mm。

15.如權利要求11所述的靶材包裝工具，其特征在于，所述卡環沿垂直于所述接觸面方向上的尺寸等于所述卡件沿垂直于所述接觸面上的尺寸。