[發明專利]雙氧水穩定劑及包含其的蝕刻組合物

有效

• 申請號: 201710425495.6
• 申請日: 2017-06-08
• 公開（公告）號: CN107475715B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 李明翰;李寶研;安鎬源;樸鐘模;金世訓
• 申請（專利權）人: 易案愛富科技有限公司
• 主分類號: C23F1/18
• 分類號: C23F1/18;C23F1/26;C23F1/30
• 代理公司: 上海弼興律師事務所 31283
• 代理人: 薛琦

1.一種銅膜、銅/鉬膜、銅/鈦膜、銅/鉬合金膜或銅/銦合金膜用蝕刻組合物，其特征在于，包含：10重量百分比至30重量百分比的過氧化氫；0.01重量百分比至5重量百分比的蝕刻抑制劑；0.1重量百分比至5重量百分比的螯合劑；0.1重量百分比至5重量百分比的己胺以及作為余量的水；

所述蝕刻抑制劑為惡唑、咪唑、吡唑、三唑、四唑、氨基四唑、甲基四唑、苯并咪唑、苯并吡唑、甲基苯并三唑、氫甲基苯并三唑、羥基甲基苯并三唑、吲哚、嘌呤、吡啶、嘧啶、吡咯或吡咯啉。

2.根據權利要求1所述的銅膜、銅/鉬膜、銅/鈦膜、銅/鉬合金膜或銅/銦合金膜用蝕刻組合物，其特征在于，所述螯合劑在分子內包含氨基、羧酸基或膦酸基。

3.根據權利要求2所述的銅膜、銅/鉬膜、銅/鈦膜、銅/鉬合金膜或銅/銦合金膜用蝕刻組合物，其特征在于，所述螯合劑為選自亞氨基二乙酸、次氮基三乙酸、乙二胺四乙酸、二乙烯三腈五乙酸、氨基三(亞甲基膦酸)、(1-羥基乙烷-1，1-二基)雙(膦酸)、乙二胺四(亞甲基膦酸)、二亞乙基三胺五(亞甲基膦酸)、丙氨酸、谷氨酸、氨基丁酸及甘氨酸中的一種或兩種以上。

4.根據權利要求1所述的銅膜、銅/鉬膜、銅/鈦膜、銅/鉬合金膜或銅/銦合金膜用蝕刻組合物，其特征在于，所述蝕刻組合物還包含選自蝕刻添加劑、氟化合物及側蝕抑制劑中的一種或兩種以上。

5.根據權利要求4所述的銅膜、銅/鉬膜、銅/鈦膜、銅/鉬合金膜或銅/銦合金膜用蝕刻組合物，其特征在于，所述蝕刻添加劑為無機酸、有機酸、無機酸鹽、有機酸鹽或它們的混合物。

6.根據權利要求5所述的銅膜、銅/鉬膜、銅/鈦膜、銅/鉬合金膜或銅/銦合金膜用蝕刻組合物，其特征在于，所述無機酸為硫酸、硝酸或磷酸，所述有機酸為乙酸、甲酸、丁酸、檸檬酸、乙醇酸、草酸、丙二酸、戊酸、丙酸、酒石酸、葡糖酸、羥基乙酸或琥珀酸，所述無機酸鹽或有機酸鹽為磷酸氫二鉀、磷酸二氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸鉀、過磷酸鉀、磷酸銨或過磷酸銨。

7.根據權利要求4所述的銅膜、銅/鉬膜、銅/鈦膜、銅/鉬合金膜或銅/銦合金膜用蝕刻組合物，其特征在于，所述氟化合物為選自HF、NaF、KF、AlF₃、HBF₄、NH₄F、NH₄HF₂、NaHF₂、KHF₂及NH₄BF₄中的一種或兩種以上。

8.根據權利要求4所述的銅膜、銅/鉬膜、銅/鈦膜、銅/鉬合金膜或銅/銦合金膜用蝕刻組合物，其特征在于，所述側蝕抑制劑為選自腺嘌呤、鳥嘌呤、次黃嘌呤、黃嘌呤、可可堿、咖啡因、異鳥嘌呤及尿酸中的一種或兩種以上。