[發(fā)明專利]真空吸附結(jié)構(gòu)及機械手裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710418770.1
• 申請日: 2017-06-06
• 公開（公告）號: CN107186745B
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 簡重光
• 申請（專利權(quán)）人: 惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司
• 主分類號: B25J15/06
• 分類號: B25J15/06;B25J19/00;G03F7/16
• 代理公司: 深圳中一專利商標(biāo)事務(wù)所 44237
• 代理人: 官建紅

本發(fā)明提供了一種真空吸附結(jié)構(gòu)及機械手裝置，真空吸附結(jié)構(gòu)包括機械手墊板和設(shè)置在機械手墊板上用于吸附基板的真空吸嘴，還包括設(shè)置在真空吸嘴內(nèi)并用于為真空吸嘴降溫的冷卻部件，真空吸嘴內(nèi)部設(shè)有安裝冷卻部件的容納槽，冷卻部件內(nèi)部通入冷卻介質(zhì)；冷卻部件為冷卻管線，冷卻介質(zhì)為冷卻氣體；冷卻管線上設(shè)有用于向真空吸嘴的吸附面吹氣的冷卻氣孔，真空吸嘴上設(shè)有用于內(nèi)部氣體排出的排氣口。機械手裝置采用了該真空吸附結(jié)構(gòu)，本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)及機械手裝置，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于顯示裝置生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，是涉及一種真空吸附結(jié)構(gòu)及采用該真空吸附結(jié)構(gòu)的機械手裝置。

背景技術(shù)

顯示裝置中的基板在光阻涂布后需要進(jìn)入軟烤機進(jìn)行烘烤。機械手臂的墊板在搬送基板進(jìn)入爐內(nèi)的過程中，會因為爐內(nèi)的熱量傳遞而升溫，此時機械手臂的墊板是有溫度的。當(dāng)機械手臂返回去搬送另外一片剛涂布后的基板時，墊板的溫度會傳遞給玻璃基板，接觸的位置會因為溫差的作用而膜厚不均并在使用過程中產(chǎn)生亮度不均勻和出現(xiàn)斑點的現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種真空吸附結(jié)構(gòu)，旨在解決機械手臂在搬運涂布好的玻璃基板進(jìn)行烘烤時機械手臂上的墊板將溫度傳遞給玻璃基板，造成玻璃基板膜厚不均且在使用過程中產(chǎn)生亮度不均勻和出現(xiàn)斑點的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：提供一種真空吸附結(jié)構(gòu)，其包括：

機械手墊板；

真空吸嘴，設(shè)置在所述機械手墊板上，用于吸附基板；

冷卻部件，設(shè)置在所述真空吸嘴內(nèi)，用于為所述真空吸嘴降溫；

容納槽，設(shè)置在所述真空吸嘴內(nèi)部，用于安裝所述冷卻部件；

冷卻介質(zhì)，設(shè)置所述冷卻部件內(nèi)部，用于為冷卻部件降溫。

進(jìn)一步地，所述冷卻部件為冷卻管線，所述冷卻介質(zhì)為冷卻氣體。

進(jìn)一步地，所述冷卻管線上設(shè)有用于向所述真空吸嘴的吸附面吹氣的冷卻氣孔，所述真空吸嘴上設(shè)有用于內(nèi)部氣體排出的排氣口。

進(jìn)一步地，所述冷卻管線纏繞在所述真空吸嘴的內(nèi)部且靠近所述真空吸嘴的吸附面布置。

進(jìn)一步地，所述容納槽位于所述吸附面的一側(cè)壁上間隔設(shè)有散熱片，所述冷卻氣孔與所述散熱片之間構(gòu)成的間隙相對應(yīng)。

進(jìn)一步地，所述散熱片與所述：所述容納槽的側(cè)壁垂直設(shè)置。

進(jìn)一步地，所述機械手墊板上設(shè)有鏤空溝槽。

進(jìn)一步地，所述真空吸嘴均勻布置在所述機械手墊板上。

本發(fā)明還提供一種真空吸附結(jié)構(gòu)，所述真空吸附結(jié)構(gòu)包括：

機械手墊板；

真空吸嘴，設(shè)置在所述機械手墊板上，用于吸附基板；

冷卻部件，設(shè)置在所述真空吸嘴內(nèi)，用于為所述真空吸嘴降溫；

容納槽，設(shè)置在所述真空吸嘴內(nèi)部，用于安裝所述冷卻部件；

冷卻介質(zhì)，設(shè)置所述冷卻部件內(nèi)部，用于為冷卻部件降溫，所述冷卻介質(zhì)包括冷卻氣體，所述冷卻部件為具有若干通氣孔的冷卻管線，所述真空吸嘴上設(shè)有用于內(nèi)部氣體排出的排氣孔，所述冷卻管線纏繞在所述真空吸嘴的內(nèi)部且靠近所述真空吸嘴的吸附面布置。

本發(fā)明真空吸附結(jié)構(gòu)，通過在真空吸嘴內(nèi)設(shè)置的冷卻部件中通入冷卻介質(zhì)，機械手墊板在烤爐內(nèi)準(zhǔn)備去搬送另外一片基板的過程中，不斷進(jìn)行冷卻，保證機械手墊板上的真空吸嘴在接觸下一片基板時不會在基板上產(chǎn)生溫差，保證搬運過程不會造成膜厚不均，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量。