[發明專利]真空吸附結構及機械手裝置

有效

• 申請號: 201710418770.1
• 申請日: 2017-06-06
• 公開（公告）號: CN107186745B
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發明（設計）人: 簡重光
• 申請（專利權）人: 惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司
• 主分類號: B25J15/06
• 分類號: B25J15/06;B25J19/00;G03F7/16
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 官建紅

1.一種真空吸附結構，其特征在于，所述真空吸附結構包括：

機械手墊板；

真空吸嘴，設置在所述機械手墊板上，用于吸附基板；

冷卻部件，設置在所述真空吸嘴內，用于為所述真空吸嘴降溫；

容納槽，設置在所述真空吸嘴內部，用于安裝所述冷卻部件；

冷卻介質，設置所述冷卻部件內部，用于為冷卻部件降溫，所述冷卻介質包括冷卻氣體；

所述冷卻部件為冷卻管線，所述冷卻管線纏繞在所述真空吸嘴的內部且靠近真空吸嘴的吸附面布置；所述真空吸嘴的中部設有吸孔，用于吸附基板，所述冷卻管線環繞所述吸孔布置；所述冷卻管線上設有用于向真空吸嘴的吸附面吹氣的冷卻氣孔，所述真空吸嘴上設有用于內部氣體排出的排氣口，所述排氣口環繞所述吸孔排布；所述容納槽位于所述吸附面的一側壁上間隔設有散熱片，所述冷卻氣孔與所述散熱片之間構成的間隙相對應。

2.如權利要求1所述的真空吸附結構，其特征在于：所述散熱片與所述容納槽的側壁垂直設置。

3.如權利要求1所述的真空吸附結構，其特征在于：所述機械手墊板上設有鏤空溝槽。

4.如權利要求1所述的真空吸附結構，其特征在于：所述真空吸嘴均勻布置在所述機械手墊板上。

5.一種真空吸附結構，其特征在于，所述真空吸附結構包括：

機械手墊板；

真空吸嘴，設置在所述機械手墊板上，用于吸附基板；

冷卻部件，設置在所述真空吸嘴內，用于為所述真空吸嘴降溫；

容納槽，設置在所述真空吸嘴內部，用于安裝所述冷卻部件；

冷卻介質，設置所述冷卻部件內部，用于為冷卻部件降溫；

其中，所述冷卻介質包括冷卻氣體，所述冷卻部件為具有若干通氣孔的冷卻管線，所述真空吸嘴上設有用于內部氣體排出的排氣孔，所述冷卻管線纏繞在所述真空吸嘴的內部且靠近所述真空吸嘴的吸附面布置。

6.機械手裝置，其特征在于：包括權利要求1-5任意一項所述的真空吸附結構。