[發(fā)明專利]準(zhǔn)直器、光學(xué)裝置及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710417325.3
• 申請日: 2017-06-06
• 公開（公告）號: CN108072980B
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蔣源峰;蔡宗唐;黃敏龍
• 申請（專利權(quán)）人: 日月光半導(dǎo)體制造股份有限公司
• 主分類號: G02B27/30
• 分類號: G02B27/30
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 蕭輔寬

1.一種準(zhǔn)直器，其包括：

襯底，其包括第一表面及與所述第一表面對置的第二表面，

其中所述襯底界定穿過所述襯底的多個通道，所述通道中的每一者包括從所述第一表面露出的第一孔隙、在所述第一表面與所述第二表面之間的第二孔隙及從所述第二表面露出的第三孔隙，其中所述第一孔隙及所述第三孔隙大于所述第二孔隙，其中所述第二孔隙為每一通道的最小孔隙，

其中，對于每一通道，所述襯底包括在所述第一孔隙與所述第二孔隙之間的第一漸縮內(nèi)表面，且所述第一漸縮內(nèi)表面包括第一漸縮角度，且

其中所述第一漸縮角度是通過以下方程式確定：

其中

θT1為所述第一漸縮角度；

N為具有給定值的散射等級；

H為所述第一孔隙與所述第二孔隙之間的距離；

D為所述第一孔隙的直徑；且

θ為進入每一通道的光束的接受角。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)直器，其中所述第一漸縮內(nèi)表面的表面粗糙度小于20納米。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)直器，其中所述第一孔隙與所述第二孔隙之間的距離為每一通道的深度的一半。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的準(zhǔn)直器，其中，對于每一通道，所述襯底進一步包括在所述第二孔隙與所述第三孔隙之間的第二漸縮內(nèi)表面，且所述第二漸縮內(nèi)表面包括等于所述第一漸縮角度的第二漸縮角度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)直器，其中每一通道進一步包括鄰近于所述第二孔隙的第四孔隙，所述第四孔隙大于所述第二孔隙且小于所述第三孔隙。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)直器，其中所述通道的多個第三孔隙彼此連接。

7.一種光學(xué)裝置，其包括：

準(zhǔn)直器，其包括：

襯底，其包括第一表面及與所述第一表面對置的第二表面，所述襯底界定穿過所述襯底的多個通道，所述通道中的每一者包括從所述第一表面露出的第一孔隙、在所述第一表面與所述第二表面之間的第二孔隙及從所述第二表面露出的第三孔隙，其中所述第二孔隙為每一通道的最小孔隙，所述襯底對于每一通道包括在所述第一孔隙與所述第二孔隙之間的第一漸縮內(nèi)表面，且所述第一漸縮內(nèi)表面包括第一漸縮角度；以及

光電元件，其安置于所述準(zhǔn)直器上方，

其中所述第一漸縮角度是從以下方程式導(dǎo)出：

其中

θ_T1為所述第一漸縮角度；

N為具有給定值的散射等級；

H為所述第一孔隙與所述第二孔隙之間的距離；

D為所述第一孔隙的直徑；且

θ為進入每一通道的光束的接受角。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學(xué)裝置，其中每一通道進一步包括鄰近于所述第二孔隙的第四孔隙，且對于每一通道，所述襯底進一步包括在所述第三孔隙與所述第四孔隙之間的第二漸縮內(nèi)表面，且所述第二漸縮內(nèi)表面與所述第一漸縮內(nèi)表面斷開連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學(xué)裝置，其中，對于每一通道，所述襯底進一步包括在所述第二孔隙與所述第三孔隙之間的第二漸縮內(nèi)表面，且所述第二漸縮內(nèi)表面連接到所述第一漸縮內(nèi)表面。