[發(fā)明專利]堆積物監(jiān)視裝置及真空泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710415007.3
• 申請日: 2017-06-05
• 公開（公告）號: CN107795498B
• 公開（公告）日: 2021-03-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 坪川徹也
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D27/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

本發(fā)明提供一種堆積物監(jiān)視裝置及真空泵，能夠更正確地判定堆積量是否過剩。堆積物監(jiān)視部(25)包括：作為狀態(tài)判定部的獲取部(251)，判定泵主體(1)的排氣狀態(tài)是否為規(guī)定排氣狀態(tài)，即判定是通氣狀態(tài)或幾乎無氣流的狀態(tài)中的哪一種排氣狀態(tài)；以及判定部(252)，輸入表示泵內(nèi)的堆積物的量的堆積量指標(biāo)即馬達(dá)電流值(I)，在規(guī)定排氣狀態(tài)下的堆積量指標(biāo)(I)為允許堆積閾值以上時(shí)，判定為堆積過剩。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種堆積物監(jiān)視裝置及真空泵。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體或液晶的蝕刻工序(etching process)中，反應(yīng)生成物會附著堆積在泵內(nèi)部，結(jié)果存在如下問題，例如因泵轉(zhuǎn)子(pump rotor)與堆積物接觸而引起損傷，或在裝置維護(hù)后，泵無法重新啟動(dòng)。

若生成物堆積在泵內(nèi)部，則排氣流路會局部地堵塞，由此，壓力會局部地上升。因此，即使在泵進(jìn)氣口壓或氣體流量相同的條件下，馬達(dá)負(fù)載也會增加，能夠基于馬達(dá)電流值的變化來推定生成物的堆積狀況。

但是，在進(jìn)行多個(gè)工序的制造工序中，存在利用多種工序氣體與處理時(shí)間的組合而設(shè)定的多個(gè)工序步驟，這些工序步驟成為一邊改變一邊反復(fù)被執(zhí)行的工序。因此，馬達(dá)電流當(dāng)前值本身會在短時(shí)間內(nèi)發(fā)生變化，即使在相同條件的工序中，電流值也會以稍小的幅度而發(fā)生變化，因此，難以對于馬達(dá)電流當(dāng)前值的變化量設(shè)定閾值。

因此，作為正確地對生成物的堆積狀況進(jìn)行檢測的方法，已提出了像專利文獻(xiàn)1所記載的發(fā)明那樣的方法。在此檢測方法中設(shè)置健康檢查模式(health check mode)，并使用此時(shí)所檢測的馬達(dá)電流當(dāng)前值的變化量，所述健康檢查模式固定地設(shè)定流入至泵的氣體流量與氣體種類。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]國際專利公開第2011/145444號

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所要解決的問題]

但是，為了設(shè)置如上所述的健康檢查模式，會產(chǎn)生設(shè)置測定用的氣體供應(yīng)裝置的負(fù)擔(dān)、或裝置的操作模式的追加或變更等負(fù)擔(dān)，成本上升成為問題。

[解決問題的技術(shù)手段]

本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的堆積物監(jiān)視裝置是利用馬達(dá)使轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)而將氣體排出的真空泵的堆積物監(jiān)視裝置，其包括：狀態(tài)判定部，判定所述真空泵是否處于規(guī)定排氣狀態(tài)；以及堆積量判定部，輸入表示所述真空泵內(nèi)的堆積物的量的堆積量指標(biāo)，在所述規(guī)定排氣狀態(tài)下的所述堆積量指標(biāo)為允許堆積閾值以上時(shí)，判定為堆積過剩。

在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述規(guī)定排氣狀態(tài)是氣體流入至所述真空泵的通氣狀態(tài)、或氣體不流入至所述真空泵的非通氣狀態(tài)中的任一個(gè)狀態(tài)。

在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，使用所述馬達(dá)的馬達(dá)電流值及設(shè)置在所述真空泵的進(jìn)氣口側(cè)的閥的開度中的任一個(gè)作為所述堆積量指標(biāo)，所述狀態(tài)判定部基于所述馬達(dá)電流值及所述閥的開度中的任一個(gè)，對所述通氣狀態(tài)及所述非通氣狀態(tài)進(jìn)行判定。

本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的堆積物監(jiān)視裝置是利用馬達(dá)使轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)而將氣體排出的真空泵的堆積物監(jiān)視裝置，其包括：獲取部，獲取氣體流入至所述真空泵的規(guī)定通氣狀態(tài)下的第一馬達(dá)電流值、與所述規(guī)定通氣狀態(tài)之前或之后的非通氣狀態(tài)下的第二馬達(dá)電流值；以及判定部，在所述第一馬達(dá)電流值與所述第二馬達(dá)電流值之間的差分為規(guī)定閾值以上的情況下，判定為所述真空泵的堆積物的堆積量過剩。

本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的真空泵包括轉(zhuǎn)子、使所述轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的馬達(dá)及任一個(gè)所述堆積物監(jiān)視裝置。

[發(fā)明的效果]

根據(jù)本發(fā)明，能夠精度良好地對堆積量的變化進(jìn)行檢測，從而能夠更正確地判定堆積量是否過剩。

附圖說明