[發明專利]堆積物監視裝置及真空泵

有效

• 申請號: 201710415007.3
• 申請日: 2017-06-05
• 公開（公告）號: CN107795498B
• 公開（公告）日: 2021-03-02
• 發明（設計）人: 坪川徹也
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D27/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種堆積物監視裝置，是利用馬達使轉子旋轉驅動而將氣體排出并且反復執行多個工序的真空泵的堆積物監視裝置，其特征在于包括：

狀態判定部，判定所述真空泵是處于所述多個工序的狀態中的哪一種規定排氣狀態；以及

堆積量判定部，輸入表示在判定的所述規定排氣狀態下所述真空泵內的堆積物的量的堆積量指標，在所述堆積量指標為對應于判定的所述規定排氣狀態的允許堆積閾值以上時，判定為堆積過剩。

2.根據權利要求1所述的堆積物監視裝置，其特征在于：

所述規定排氣狀態是氣體流入至所述真空泵的通氣狀態或氣體不流入至所述真空泵的非通氣狀態中的任一個狀態。

3.根據權利要求2所述的堆積物監視裝置，其特征在于：

使用所述馬達的馬達電流值及設置在所述真空泵的進氣口側的閥的開度中的任一個作為所述堆積量指標，

所述狀態判定部基于所述馬達電流值及所述閥的開度中的任一個，對所述通氣狀態及所述非通氣狀態進行判定。

4.一種堆積物監視裝置，是利用馬達使轉子旋轉驅動而將氣體排出并且反復執行多個工序的真空泵的堆積物監視裝置，其特征在于包括：

獲取部，判定所述真空泵是處于所述多個工序的狀態中的哪一種規定排氣狀態，所述規定排氣狀態是氣體流入至所述真空泵的通氣狀態或氣體不流入至所述真空泵的非通氣狀態中的任一個狀態，并且所述獲取部獲取氣體流入至所述真空泵的規定通氣狀態下的第一馬達電流值、與所述規定通氣狀態之前或之后的非通氣狀態下的第二馬達電流值；以及

判定部，在所述第一馬達電流值與所述第二馬達電流值之間的差分為對應于判定的所述規定排氣狀態的規定閾值以上的情況下，判定為所述真空泵的堆積物的堆積量過剩。

5.一種真空泵，其特征在于包括：

轉子；

馬達，使所述轉子旋轉驅動；以及

根據權利要求1至4中任一項所述的堆積物監視裝置。