[發(fā)明專利]硬掩模用組合物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710413831.5
• 申請日: 2017-06-05
• 公開（公告）號: CN107526253B
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 崔漢永;梁敦植
• 申請（專利權(quán)）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/11
• 分類號: G03F7/11
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英;宋海花

1.一種硬掩模用組合物，其包含共聚物和溶劑，所述共聚物包含選自由下述化學式1-1和化學式1-2組成的組中的至少一種重復(fù)單元，

化學式1-1

式中，Ar₁和Ar₂各自獨立地為選自由下述化學式a-1～下述化學式a-7所表示的基團組成的組中的至少一種，

R₁為選自由下述化學式b-1～下述化學式b-7所表示的基團組成的組中的至少一種，

所述Ar₁、Ar₂和R₁各自獨立地可被碳原子數(shù)1～6的烷基、羥基、甲氧基或苯基進一步取代，

n為1～190的整數(shù)，

化學式1-2

式中，Ar₁和Ar₂各自獨立地為選自由下述化學式a-1～下述化學式a-7所表示的基團組成的組中的至少一種，

R₂為氫原子或碳原子數(shù)1～6的烷基，

所述Ar₁和Ar₂各自獨立地可被碳原子數(shù)1～6的烷基、羥基、甲氧基或苯基進一步取代，

n為1～190的整數(shù)，

化學式a-1

化學式a-2

化學式a-3

化學式a-4

化學式a-5

化學式a-6

化學式a-7

所述化學式a-7中，Ra為氫原子、碳原子數(shù)1～2的烷基、碳原子數(shù)2～4的烯基或炔基、或者碳原子數(shù)6～30的芳基，

化學式b-1

化學式b-2

化學式b-3

化學式b-4

化學式b-5

化學式b-6

化學式b-7

所述化學式b-7中，Ra為氫原子、碳原子數(shù)1～2的烷基、碳原子數(shù)2～4的烯基或炔基、或者碳原子數(shù)6～30的芳基。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬掩模用組合物，所述共聚物進一步包含下述化學式2的重復(fù)單元，

化學式2

式中，Ar₃為選自由下述化學式a-1～下述化學式a-7組成的組中的至少一種，

Ar₄為選自由下述化學式b-1～下述化學式b-7組成的組中的至少一種，

所述Ar₃和Ar₄各自獨立地可被碳原子數(shù)1～6的烷基、羥基、甲氧基或苯基進一步取代，

n為1～190的整數(shù)，

化學式a-1

化學式a-2

化學式a-3

化學式a-4

化學式a-5

化學式a-6

化學式a-7

所述化學式a-7中，Ra為氫原子、碳原子數(shù)1～2的烷基、碳原子數(shù)2～4的烯基或炔基、或者碳原子數(shù)6～30的芳基，

化學式b-1

化學式b-2

化學式b-3

化學式b-4

化學式b-5

化學式b-6

化學式b-7

所述化學式b-7中，Ra為氫原子、碳原子數(shù)1～2的烷基、碳原子數(shù)2～4的烯基或炔基、或者碳原子數(shù)6～30的芳基。