[發明專利]一種鈣鈦礦薄膜涂布設備及使用方法和應用

有效

• 申請號: 201710406229.9
• 申請日: 2017-06-02
• 公開（公告）號: CN108970913B
• 公開（公告）日: 2023-09-01
• 發明（設計）人: 請求不公布姓名
• 申請（專利權）人: 杭州纖納光電科技有限公司
• 主分類號: B05C9/06
• 分類號: B05C9/06;B05C5/02;B05C13/02;B05D3/04;B05D3/06;H10K71/15
• 代理公司: 杭州奧創知識產權代理有限公司 33272
• 代理人: 楊文華

1.一種鈣鈦礦薄膜涂布設備，其特征在于，包括輸送基片的傳送裝置、前驅體溶液涂布裝置、活化層涂布裝置、反溶劑噴涂裝置以及風干裝置或加熱干燥裝置，所述基片預先制備了底電極層，所述傳送裝置設置有傳送帶或傳送軸，所述前驅體溶液涂布裝置設置有涂布頭，所述涂布頭為前驅體涂布頭，所述活化層涂布裝置設置有涂布頭，所述涂布頭為活化涂布頭，所述反溶劑噴涂裝置設置有噴涂嘴，所述噴涂嘴為反溶劑噴涂嘴，所述風干裝置設置有出風口，所述加熱干燥裝置設置有紅外線加熱器，基片放置在所述傳送帶或傳送軸上由其帶動依次經過前驅體溶液涂布裝置、活化層涂布裝置、反溶劑噴涂裝置和風干裝置或加熱干燥裝置，所述前驅體涂布頭將前驅體溶液涂布在基片表面上，所述活化涂布頭將活化溶液涂布在基片表面上，所述反溶劑噴涂嘴將反溶劑噴涂在基片表面上，所述出風口的風將基片表面上的前驅體溶液、活化溶液和反溶劑同時揮發干燥并形成鈣鈦礦薄膜，所述加熱干燥裝置的紅外線加熱器分別從基片上下兩側同時對其加熱將其表面上的前驅體溶液、活化溶液和反溶劑一起蒸發干燥并形成鈣鈦礦薄膜。

2.一種鈣鈦礦薄膜涂布設備，其特征在于，包括輸送基片的傳送裝置、前驅體溶液涂布裝置、活化層噴涂裝置、反溶劑涂布裝置以及風干裝置或加熱干燥裝置，所述基片預先制備了底電極層，所述傳送裝置設置有傳送帶或傳送軸，所述前驅體溶液涂布裝置設置有涂布頭，所述涂布頭為前驅體涂布頭，所述反溶劑涂布裝置設置有涂布頭，所述涂布頭為反溶劑涂布頭，所述活化層噴涂裝置設置有噴涂嘴，所述噴涂嘴為活化噴涂嘴，所述風干裝置設置有出風口，所述加熱干燥裝置設置有紅外線加熱器，基片放置在所述傳送帶或傳送軸上由其帶動依次經過前驅體溶液涂布裝置、活化層噴涂裝置、反溶劑涂布裝置和風干裝置或加熱干燥裝置，所述前驅體涂布頭將前驅體溶液涂布在基片表面上，所述活化噴涂嘴將活化溶液噴涂在基片表面上，所述反溶劑涂布頭將反溶劑涂布在基片表面上，所述出風口的風將基片表面上的前驅體溶液、活化溶液和反溶劑同時揮發干燥并形成鈣鈦礦薄膜，所述加熱干燥裝置的紅外線加熱器分別從基片上下兩側同時對其加熱將其表面上的前驅體溶液、活化溶液和反溶劑一起蒸發干燥并形成鈣鈦礦薄膜。

3.一種鈣鈦礦薄膜涂布設備，其特征在于，包括輸送基片的傳送裝置、前驅體溶液涂布裝置、前段風干裝置或前段加熱干燥裝置、活化層涂布裝置、反溶劑噴涂裝置以及后段風干裝置或后段加熱干燥裝置，所述基片預先制備了底電極層，所述傳送裝置設置有傳送帶或傳送軸，所述前驅體溶液涂布裝置設置有涂布頭，所述涂布頭為前驅體涂布頭，所述前段風干裝置設置有前段出風口，所述前段加熱干燥裝置設置有紅外線加熱器，所述活化層涂布裝置設置有涂布頭，所述涂布頭為活化涂布頭，所述反溶劑噴涂裝置設置有噴涂嘴，所述噴涂嘴為反溶劑噴涂嘴，所述后段風干裝置設置有后段出風口，所述后段加熱干燥裝置設置有紅外線加熱器，基片放置在所述傳送帶或傳送軸上由其帶動依次經過前驅體溶液涂布裝置、前段風干裝置或前段加熱干燥裝置、活化層涂布裝置、反溶劑噴涂裝置和后段風干裝置或后段加熱干燥裝置，所述前驅體涂布頭將前驅體溶液涂布在基片表面上，所述活化涂布頭將活化溶液涂布在基片表面上，所述反溶劑噴涂嘴將反溶劑噴涂在基片表面上，所述前段出風口的風將基片表面上的前驅體溶液揮發干燥并形成前驅體薄膜，所述前段加熱干燥裝置的紅外線加熱器分別從基片上下兩側同時對其加熱將其表面上的前驅體溶液蒸發干燥并形成前驅體薄膜，所述后段出風口的風將基片表面上的活化溶液和反溶劑同時揮發干燥并形成鈣鈦礦薄膜，所述后段加熱干燥裝置的紅外線加熱器分別從基片上下兩側同時對其加熱將其表面上的活化溶液和反溶劑一起蒸發干燥并形成鈣鈦礦薄膜。