[發(fā)明專(zhuān)利]內(nèi)膜管狀納米電導(dǎo)體電熱膜電熱管的鍍膜方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710399355.6
• 申請(qǐng)日: 2017-05-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107426838A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 江福興
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 廣西泰億諾新能源有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H05B3/40
• 分類(lèi)號(hào): H05B3/40;C23C4/12
• 代理公司: 北京卓恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)11394
• 代理人: 陳益思

背景技術(shù)

目前在納米半導(dǎo)體電熱膜行業(yè)里，主要分為外膜管狀半導(dǎo)體電熱和內(nèi)膜管狀半導(dǎo)體電熱膜電熱管(發(fā)熱管)，外膜管狀半導(dǎo)體電熱管生產(chǎn)的企業(yè)較多，但總體來(lái)說(shuō)，外膜半導(dǎo)體電熱管電熱管存在普遍的功率快速衰減的不穩(wěn)定現(xiàn)象。內(nèi)膜管狀納米半導(dǎo)體電熱管，功率穩(wěn)定性更好，但目前大多研發(fā)仍處在實(shí)驗(yàn)實(shí)小試及測(cè)試階段，未能工業(yè)化量產(chǎn)。內(nèi)膜管狀納米半導(dǎo)體電熱膜仍處于實(shí)驗(yàn)室的小試及測(cè)試階段，未能工業(yè)化量產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種解決內(nèi)膜管狀納米半導(dǎo)體電熱膜電熱管的工業(yè)化量產(chǎn)的鍍膜方法。

提供一種內(nèi)膜管狀納米電導(dǎo)體電熱膜電熱管的鍍膜方法，包括如下步驟：

A1、鍍膜準(zhǔn)備步驟：在鍍膜前先啟動(dòng)下列系統(tǒng)：?jiǎn)?dòng)供氣系統(tǒng)、

啟動(dòng)遂道爐加溫系統(tǒng)給遂道爐升溫；使?fàn)t內(nèi)溫度達(dá)至設(shè)定溫度；

啟動(dòng)鏈條傳送鍍膜工件傳送系統(tǒng)，噴鍍工件檢測(cè)排列管理系統(tǒng)，鍍膜工件按設(shè)定的間隔時(shí)間步進(jìn)進(jìn)入遂道爐內(nèi)加溫升溫；啟動(dòng)抽風(fēng)系統(tǒng)及噴槍的冷卻系統(tǒng)；

A2、將待鍍電熱管間隔放在鏈條傳送鍍膜工件傳送系統(tǒng)的傳送鏈條上，將鍍膜工件送至限定的噴鍍點(diǎn)，待工件噴鍍完成后再走一步，傳送鏈條系統(tǒng)為步進(jìn)循環(huán)方案；噴鍍工件定距排列，噴鍍工件噴鍍完成后鏈條前進(jìn)一步，緊跟上的噴鍍工件停留在上一個(gè)噴鍍工件停留的位置，且與遂道爐的上、下、左、右的距離公差要小于1mm，以確保噴鍍噴槍在噴鍍時(shí)進(jìn)入噴鍍管件內(nèi)噴鍍里仍然保持對(duì)準(zhǔn)中心線(xiàn)狀態(tài)，以及導(dǎo)煙裝置的導(dǎo)煙管套入噴鍍管件的管口后不會(huì)因?yàn)閲婂兗倪^(guò)大位移導(dǎo)致碰撞管現(xiàn)象；

A3、當(dāng)噴鍍工件進(jìn)入到噴鍍點(diǎn)后，導(dǎo)煙裝置進(jìn)入噴鍍點(diǎn)，導(dǎo)煙管口自動(dòng)套在噴鍍工件的管口處，噴槍沿導(dǎo)煙裝置的導(dǎo)煙管中心線(xiàn)進(jìn)入到噴鍍工件的管內(nèi)中心距離噴鍍管管底約40～60mm處停止，供液系統(tǒng)開(kāi)始供液，噴槍開(kāi)始噴鍍，噴鍍啟動(dòng)后2～5秒鐘后平穩(wěn)的邊噴邊往后方移動(dòng)，當(dāng)噴槍槍嘴移動(dòng)至噴鍍件管口約10mm處時(shí)靜止噴鍍2～5秒鐘，供液系統(tǒng)停止供液，在2～3秒內(nèi)供氣系統(tǒng)停止供氣，進(jìn)一步噴槍及導(dǎo)煙裝置導(dǎo)煙管迅速退回至等待噴鍍點(diǎn)等待下一個(gè)噴鍍循環(huán)；

A4、噴鍍后的噴鍍工件進(jìn)入老化恒溫段老化；噴鍍工件老化后出遂道爐冷卻，鍍膜結(jié)束。

本工業(yè)化的內(nèi)膜納米管狀半導(dǎo)體電熱膜電熱管的鍍膜方法，主要的工藝條件有：600鍍高溫遂道爐加溫系統(tǒng)1，耐600鍍以上的鏈條式步進(jìn)管狀鍍膜工件傳送系統(tǒng)，噴鍍工件檢測(cè)排列管理系統(tǒng)，導(dǎo)煙裝置，噴鍍系統(tǒng)和抽風(fēng)過(guò)濾系統(tǒng)。

采用可耐600℃以上溫度的鏈條式步進(jìn)管狀鍍膜工件傳送系統(tǒng)；本系統(tǒng)高溫遂道爐加溫系統(tǒng)：高溫遂道爐分為三大部分升溫加熱，預(yù)熱段、恒溫保溫段、恒溫老化段；預(yù)熱段主為是將連續(xù)鍍膜的工件加溫致鍍膜所需的溫度，確保每一個(gè)鍍膜工件在噴鍍膜前溫度升至鍍膜時(shí)所需的恒定溫度；恒溫保溫段即為一次或兩次及以上的噴鍍工藝所要求的保溫系統(tǒng)，確保噴鍍工件在噴鍍膜是溫度恒定，且溫度波動(dòng)確保小于設(shè)定溫度600℃的正負(fù)5度的溫度公差；以保證每一個(gè)鍍膜工件在傳送的作用下經(jīng)過(guò)每一個(gè)鍍膜點(diǎn)時(shí)的溫度一致，從而確保鍍膜效果的一致性；恒溫老化段即為鍍膜工件鍍膜后進(jìn)一步在高溫恒溫下進(jìn)行膜層老化，以確保納米半導(dǎo)體鍍膜層的穩(wěn)定使用。的特點(diǎn)為傳動(dòng)電機(jī)為步進(jìn)式控制，每進(jìn)一步將鍍膜工件送至限定的噴鍍點(diǎn)，待工件噴鍍完成后再走一步，傳送鏈條系統(tǒng)為步進(jìn)循環(huán)方案。噴鍍工件定距排列，噴鍍工件噴鍍完成后鍍條前進(jìn)一步，緊跟上的噴鍍工件停留在上一個(gè)噴鍍工件停留的位置，且上下左右的位移公差要小于1mm，以確保噴鍍噴槍在噴鍍時(shí)進(jìn)入噴鍍管件內(nèi)，噴鍍時(shí)仍然保持對(duì)準(zhǔn)中心線(xiàn)狀態(tài)，以及導(dǎo)煙裝置的導(dǎo)煙管套入噴鍍管件的管口后不會(huì)因?yàn)閲婂兗倪^(guò)大位移導(dǎo)致碰撞管現(xiàn)象。

噴鍍管檢測(cè)排列管理系統(tǒng)：本系統(tǒng)主要的特點(diǎn)是針對(duì)噴鍍管通過(guò)人工或自動(dòng)放管器放置在噴鍍管傳送系統(tǒng)的傳送架上后，對(duì)噴鍍工件的探測(cè)，然后再進(jìn)行排列，以提供數(shù)據(jù)給噴鍍系統(tǒng)，確保噴鍍系統(tǒng)中的噴槍進(jìn)入噴鍍點(diǎn)噴鍍時(shí)必須有噴鍍件，以避免無(wú)噴鍍件進(jìn)入噴鍍點(diǎn)噴槍進(jìn)入高溫爐內(nèi)誤噴，從而導(dǎo)致噴槍在高溫中損壞及噴鍍液噴鍍有遂道爐內(nèi)堂內(nèi)損壞設(shè)備。

導(dǎo)煙裝置：導(dǎo)煙裝置主要由導(dǎo)煙管及基座組成，在每次噴鍍工件進(jìn)入噴鍍點(diǎn)后，導(dǎo)煙管在噴鍍前要前往噴鍍工件并套入噴鍍工件的管口約至少5mm以上，導(dǎo)煙管的管口內(nèi)孔要略大于噴鍍管工件的管口，導(dǎo)煙管的內(nèi)孔壁與噴鍍管件的管口外圓之產(chǎn)的間隙要小于10mm以?xún)?nèi)，以確保噴鍍過(guò)程中產(chǎn)生的煙霧不會(huì)溢到遂道爐內(nèi)。從而損壞遂道爐膛及造成環(huán)境污染。