[發明專利]發光元件的制造裝置和制造方法

有效

• 申請號: 201710391405.6
• 申請日: 2017-05-27
• 公開（公告）號: CN107492602B
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 石川孝明;上村孝明;平田教行
• 申請（專利權）人: 株式會社日本顯示器
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 11322 北京尚誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 邸萬杰

本發明提供對于設置場所的形狀、寬敞度的自由度高且對于步驟變更、擴展等的應對性優異的有機EL裝置的制造裝置。該制造裝置包括：具有經第1交接室連接的第1移載機和第2移載機的主輸送路徑；副輸送路徑，其具有與上述第1移載機或第2移載機連接的第2交接室和與上述第2交接室連接的輸送室，且在與上述主輸送路徑交叉的方向上延伸；和與上述輸送室連接的多個處理室，上述第1移載機、第2移載機、上述第1交接室和上述第2交接室連接而形成的區域為連續的真空環境。

技術領域

本發明涉及發光元件的制造裝置和發光元件的制造方法。特別涉及用于形成顯示裝置的有機EL元件中的有機層和電極層的制造裝置及其制造方法。

背景技術

近年來，在顯示部中使用有機電致發光元件(有機EL元件)的顯示裝置被廣泛地使用于以智能手機等便攜式信息終端為首的各種電子器件中。有機EL元件具有在一對電極之間層疊夾持有具有各功能的有機層的結構，其制造通過在形成有一個電極的基板上利用蒸鍍法或涂敷法等依次形成有機層、利用濺射法或涂敷法等形成另一個電極而進行。

作為具有代表性的有機EL元件的有機層的結構，能夠列舉空穴注入層/空穴輸運層/發光層/電子輸運層/電子注入層這樣的層疊結構，提案有一種用于依次恰當地形成包括這些層在內的構成有機EL元件的疊層的制造裝置(例如，參照日本特開2004-288463號公報)。

發明內容

有機EL元件由被夾持于一對電極間的有機層的疊層構成，其結構根據所要求的特性而大不相同。因此，隨著具有與現有的有機EL元件不同的材料和層疊結構的元件的提案，需要與之相應的制造裝置的構筑。例如在日本特開2004-288463號公報中記載的制造裝置中，連接有多個處理室的輸送室通過交接室串行(直列)連接，不過在采用這樣的結構的情況下，在中途改變層疊結構或者追加新的層時，需要進行將已經配置的裝置組的一部分分解進行再配置或者追加連接新的輸送室那樣的大規模的改裝。此外，由于各處理各自的處理時間不同，所以產生在某一個步驟中處理能力高而在另一個步驟中處理能力低那樣的差，在輸送室串行連接的情況下，存在處理能力低的處理室進行的步驟成為瓶頸，限制整體生產量的問題。

解決技術問題的技術方案

本發明的一個方式的發光元件的制造裝置的特征在于，包括：具有經第1交接室連接的第1移載機和第2移載機的主輸送路徑；具有與第1移載機或第2移載機連接的第2交接室和與第2交接室連接的輸送室且在與主輸送路徑交叉的方向上延伸的副輸送路徑；和與輸送室連接的多個處理室，第1移載機、第2移載機、第1交接室和第2交接室連接而形成的區域為連續的真空環境。

本發明的另一個方式的發光元件的制造裝置的特征在于，包括：具有經第1交接室連接的第1移載機和第2移載機的主輸送路徑；在與主輸送路徑交叉的方向上從第1移載機或第2移載機經第2交接室連接的輸送室；和與輸送室連接的多個處理室，第1移載機或第2移載機具有用于連接第1交接室的第1端口、用于連接第2交接室的第2端口和用于連接存儲被處理基板的緩沖部的第3端口，輸送室具有用于連接第2交接室的第4端口和用于連接多個處理室之一的第5端口，第1交接室并列設置有至少兩個。