[發明專利]一種深紫外LED芯片的制造方法有效
| 申請號： | 201710388108.6 | 申請日： | 2017-05-27 |
| 公開（公告）號： | CN108963037B | 公開（公告）日： | 2021-04-27 |
| 發明（設計）人： | 吳永軍;劉亞柱;唐軍;呂振興 | 申請（專利權）人： | 寧波安芯美半導體有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知識產權代理事務所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 王挺;魏玉嬌 |
| 地址： | 315336 浙江省寧波市杭州灣*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 深紫 led 芯片 制造 方法 | ||
1.一種深紫外LED芯片的制造方法，其特征在于，包括步驟：
S1、按照第一指定圖形(a)對所述深紫外LED芯片進行Mesa光刻，將Mesa光刻的部分作為所述深紫外LED芯片的N面，未進行Mesa光刻的部分作為所述深紫外LED芯片的P面；
S2、將所述深紫外LED芯片外延層的外周按第一預設寬度向下蝕刻至藍寶石層，所述第一預設寬度為4μm-8μm；
S3、在所述P面上按照第二指定圖形(b)蒸鍍P極金屬，所述P極金屬的邊界與所述第一指定圖形(a)的邊界之間的距離為3μm-7μm；
S4、在所述N面上蒸鍍N極金屬，所述第一指定圖形(a)的邊界與所述N極金屬的邊界的距離為7μm-8μm；
S41、在所述N面上上下對稱各蒸鍍六個圓形電極(2)，六個圓形電極(2)分為四排，上下各兩排，每排三個；在連接時，最下端的三個圓形電極(2)不與其他圓形電極(2)相連，其他九個圓形電極(2)之間均通過金屬連接片(3)相連，所述圓形電極(2)的尺寸為50μm-150μm；所述金屬連接片(3)的寬度為5μm-10μm；
S42、按照第四指定圖形(d)通過金屬連接片(3)對所述圓形電極(2)進行連接，所述圓形電極(2)的尺寸為50μm-150μm；所述金屬連接片(3)的寬度為5μm-10μm；
S5、蒸鍍絕緣層，并將所述絕緣層按照第三指定圖形(c)內的部分進行挖孔去除形成電極孔(1)，所述第三指定圖形(c)中的所述電極孔(1)包括P孔(11)和N孔(12)，所述P孔(11)的直徑為20μm-30μm，所述N孔(12)的直徑為40μm-50μm；
S6、按第四指定圖形(d)蒸鍍焊接第一金屬電極和第二金屬電極，所述第一金屬電極通過所述電極孔(1)和所述P極金屬相連，所述第二金屬電極通過所述電極孔(1)和所述N極金屬相連，形成所述深紫外LED芯片。
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