[發(fā)明專利]一種注漿成型高密度AZO靶材的制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710386332.1 | 申請(qǐng)日： | 2017-05-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN107032781A | 公開（公告）日： | 2017-08-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張?zhí)焓?/a>;宋曉超;陳晨;錢邦正 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C04B35/453 | 分類號(hào)： | C04B35/453;C04B35/622;C04B35/634 |
| 代理公司： | 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11411 | 代理人： | 張清彥 |
| 地址： | 230012 安*** | 國(guó)省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 成型 高密度 azo 制備 方法 | ||
1.一種注漿成型高密度AZO靶材的制備方法，其特征在于包括以下步驟：
(1)預(yù)混液制備：將重量比為100：3～5的氧化鋅粉末和氧化鋁粉末混合均勻，得混合物料，將混合物料加入尼龍罐中，以混合物重量為100％計(jì)，向尼龍制罐中加入1.5～3.0％的分散劑和20～35％的水，用氨水或醋酸調(diào)pH值為8.5～10.3；
(2)懸浮漿料的制備：將預(yù)混液經(jīng)濕磨制備懸浮液；
(3)坯體成型：將球磨好的漿料進(jìn)行真空除氣，把進(jìn)行除氣后料漿注入石膏模中；吸漿成型后脫模，將生坯晾干72h以上，得AZO坯體；
(4)脫脂：將脫模后的AZO素坯置于脫脂爐中，以0.5℃/min升溫至600℃，并恒溫3h；
(5)燒結(jié)：將脫脂的AZO坯體放在置在高溫?zé)Y(jié)爐中進(jìn)行無(wú)壓燒結(jié)，以50～100℃/h升溫至1300～1500℃，保溫5～10h，冷卻，得AZO靶材。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種注漿成型高密度AZO靶材的制備方法，其特征在于：所述氧化鋅粉末的平均粒徑為250nm，所述氧化鋁粉末的平均粒徑為310nm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種注漿成型高密度AZO靶材的制備方法，其特征在于：所述分散劑為聚丙烯酸、聚乙二醇、聚丙烯酸胺、阿拉伯樹膠的任意一種或幾種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種注漿成型高密度AZO靶材的制備方法，其特征在于：所述分散劑為重量比為3～4：2的聚丙烯酸和聚乙二醇。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種注漿成型高密度AZO靶材的制備方法，其特征在于：所述步驟(2)中球磨機(jī)的球磨介質(zhì)為直徑為5mm的氧化鋯球，球料比為2～4：1。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種注漿成型高密度AZO靶材的制備方法，其特征在于：所述步驟(2)中尼龍罐轉(zhuǎn)速為120rpm，研磨時(shí)間為35～45h。
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