[發明專利]一種注漿成型高密度ITO靶材的制備方法在審
| 申請號： | 201710385688.3 | 申請日： | 2017-05-26 |
| 公開（公告）號： | CN107226680A | 公開（公告）日： | 2017-10-03 |
| 發明（設計）人： | 張天舒;宋曉超;蔣衛國;錢邦正 | 申請（專利權）人： | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司 |
| 主分類號： | C04B35/01 | 分類號： | C04B35/01;C04B35/457;C04B35/626;C04B35/622;C04B35/64;B28B1/26;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙)11411 | 代理人： | 張清彥 |
| 地址： | 230012 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 成型 高密度 ito 制備 方法 | ||
1.一種注漿成型高密度ITO靶材的制備方法，其特征在于包括以下步驟：
(1)預混液制備：取分散劑加入水中，攪拌均勻，用氨水調pH值至8～11，得預混液；分散劑的加入量為ITO粉體質量的1.5～3.0％，水的加入量為ITO粉體質量的10～20％；
(2)懸浮漿料的制備：向預混液中加入ITO粉體，經球磨機進行濕磨；
(3)坯體成型：將球磨后的漿料進行真空除氣，把真空除氣后料漿注入石膏模具中；吸漿成型后脫模，將生坯晾干72h以上，得ITO坯體；
(4)脫脂：將干燥的ITO坯體放置到脫脂爐中以0.5℃/min升溫到600℃，并保溫3h；
(5)燒結：將脫脂后的ITO坯體放置到燒結爐中，在流動的氧氣氛下，以50～120℃/h升溫至1450～1650℃，并保溫5～10h，通過自然降溫至溫度低于200℃，而得高密度ITO靶材。
2.根據權利要求1所述的一種注漿成型高密度ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述ITO粉體純度大于99.99％，平均粒徑范圍為0.10～0.3μm。
3.根據權利要求1所述的一種注漿成型高密度ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述分散劑為重量比為1:1～2的檸檬酸和聚丙烯酸胺的混合物。
4.根據權利要求1所述的一種注漿成型高密度ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述分散劑為重量比為1:1～2的檸檬酸和聚乙二醇的混合物。
5.根據權利要求1所述的一種注漿成型高密度ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述分散劑為重量比為1:1～2的檸檬酸和阿拉伯樹膠的混合物。
6.根據權利要求1所述的一種注漿成型高密度ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述步驟(2)中球磨機的球磨介質為直徑為5mm的氧化鋯球，球料比為2～4：1。
7.根據權利要求6所述的一種注漿成型高密度ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述步驟(2)中尼龍罐轉速為120rpm，研磨時間為35～45h。
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