[發明專利]在由載具支撐的基板上沉積一層或多層的系統及方法

在審

• 申請號: 201710383682.2
• 申請日: 2014-02-04
• 公開（公告）號: CN107201501A
• 公開（公告）日: 2017-09-26
• 發明（設計）人: S·邦格特;U·舒斯勒;J·M·迭戈茲-坎波;D·哈斯
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12;C23C14/50;C23C14/56;H01L51/56
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 侯穎媖

本申請是申請日為2014年2月4日、申請號為201480073071.2，題為“用于有機材料的蒸發源、具有用于有機材料的蒸發源的設備、具有帶有用于有機材料的蒸發源的蒸發沉積設備的系統以及用于操作用于有機材料的蒸發源的方法”的申請的分案申請。

技術領域

本發明的實施例涉及有機材料的沉積、用于沉積材料(例如，有機材料)的系統、用于有機材料的源以及用于有機材料的沉積設備。本發明的實施例尤其涉及：用于制造器件(特別地，在其中包含有機材料的器件)的制造系統；用于在由載具支撐的基板上沉積一層或多層(特別地，在其中包含有機材料的層)的系統；在用于制造器件(特別地，包含有機材料的器件)的制造系統中制造器件的方法；以及在用于在由載具支撐的基板上沉積一層或多層(特別地，在其中包含有機材料的層)的系統中沉積一層或多層的方法。

背景技術

有機蒸發器是一種用于有機發光二極管(OLED)的生產的工具。OLED是一種特殊類型的發光二極管，其中發射層包括某些有機化合物的薄膜。有機發光二極管(OLEDs)用在電視屏幕、計算機監視器、移動電話、其他手持裝置等的制造以用于顯示信息。OLED也可用于一般的空間照明。由于OLED像素直接發射光且不要求背光，OLED顯示器可能的顏色、亮度和視角的范圍大于傳統LCD顯示器的范圍。因此，OLED顯示器的能耗大幅低于傳統LCD顯示器的能耗。此外，OLED可被制造在柔性基板上的事實帶來了進一步的應用。例如，典型的OLED顯示器可包含位于兩個電極之間的多個有機材料層，所述多個有機材料層以形成具有可獨立供能的像素的矩陣顯示面板的方式而全都沉積在基板上。OLED一般被放置在兩個玻璃面板之間，并且密封所述玻璃面板的邊緣以將OLED封裝于其中。

在這類顯示器裝置的制造中遇到很多挑戰。在一個示例中，具有將OLED封裝在兩個玻璃面板之間來防止可能的裝置污染所需的許多勞動密集型步驟。在另一個示例中，不同尺寸顯示器屏幕以及由此產生的不同尺寸的玻璃面板可能要求基本上重新配置用于形成顯示器裝置的工藝和工藝硬件。總體上，存在對在大面積基板上制造OLED裝置的期望。

在大規模OLED顯示器的制造中，帶來各種挑戰的一個步驟是對基板的掩模，例如用于沉積圖案化的層。另外，已知的系統典型地具有小的總材料利用率，例如小于50％。

因此，對于用于形成諸如OLED顯示器裝置的新的、改進的系統、設備和方法，存在持續的需要。

發明內容

鑒于上述內容，提供一種用于在由載具支撐的基板上沉積一層或多層(特別地，在其中包含有機材料的層)的改進的系統、以及一種在用于在由載具支撐的基板上沉積一層或多層(特別地，在其中包含有機材料的層)的系統中沉積一層或多層的改進的方法。通過從屬權利要求、說明書和附圖，本發明的實施例的進一步的方面、優點和特征是顯而易見的。

根據一個實施例，提供一種用于在由載具支撐的基板上沉積一層或多層(特別地，在其中包含有機材料的層)的系統。所述系統包含：裝載鎖定腔室，用于裝載待處理的基板；傳遞腔室，用于傳送所述基板；真空擺動模塊，在裝載鎖定腔室和傳遞腔室之間提供；至少一個沉積設備，用于在至少一個沉積腔室的真空腔室中沉積材料，其中所述至少一個沉積設備連接至所述傳遞腔室；進一步的裝載鎖定腔室，用于卸載已處理的基板；進一步的傳遞腔室，用于傳送所述基板；進一步的真空擺動模塊，在所述進一步的裝載鎖定腔室和所述進一步的傳遞腔室之間提供；以及載具返回軌道，從所述進一步的真空擺動模塊通往所述真空擺動模塊，其中所述載具返回軌道配置成在真空條件下和/或在受控的惰性氣氛下傳送載具。

根據另一實施例，提供一種在用于在由載具支撐的基板上沉積一層或多層(特別地，在其中包含有機材料的層)的系統中沉積一層或多層的方法。所述方法包含以下步驟：以水平取向將基板裝載在系統中；在真空擺動模塊中將所述基板裝載到載具上；在所述真空擺動模塊中將所述基板旋轉為處于豎直取向；在真空條件下，移送帶有被裝載的基板的載具通過所述系統，并且將所述載具入傳進和傳出至少一個沉積腔室；在進一步的真空擺動模塊中將載具旋轉為處于水平取向；在所述進一步的真空擺動模塊中以所述水平取向從所述載具卸載所述基板；以及在真空條件下和/或在受控的惰性氣氛下，將空載具從所述進一步的真空擺動模塊返回到所述真空擺動模塊。