[發明專利]在由載具支撐的基板上沉積一層或多層的系統及方法

在審

• 申請號: 201710383682.2
• 申請日: 2014-02-04
• 公開（公告）號: CN107201501A
• 公開（公告）日: 2017-09-26
• 發明（設計）人: S·邦格特;U·舒斯勒;J·M·迭戈茲-坎波;D·哈斯
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12;C23C14/50;C23C14/56;H01L51/56
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 侯穎媖

1.一種用于在由載具支撐的基板上沉積一層或多層的系統，所述系統包括：

第一裝載鎖定腔室；

第一傳遞腔室和第二傳遞腔室，用于傳送所述基板；

包括兩個或更多個沉積設備的直列式沉積系統部分，所述兩個或更多個沉積設備設置在所述第一傳遞腔室與所述第二傳遞腔室之間，并且所述直列式沉積系統部分適用于將載具從一個沉積設備傳送到相鄰的沉積設備，其中所述沉積設備包括可移動且可轉動的蒸發源；以及

第二裝載鎖定腔室。

2.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第一傳遞腔室和所述第二傳遞腔室配置成用于豎直的基板傳送。

3.如權利要求1至2中的任一項所述的系統，其特征在于，所述第一裝載鎖定腔室配置成用于水平的基板搬運，且其中設置在所述第一裝載鎖定腔室與所述第一傳遞腔室之間的真空擺動模塊配置成用于基板旋轉，和/或其中所述第二裝載鎖定腔室配置成用于水平的基板搬運且設置在所述第二傳遞腔室與所述第二裝載鎖定腔室之間的第二真空擺動模塊配置成用于基板旋轉。

4.如權利要求1至2中的任一項所述的系統，其特征在于，所述第一傳遞腔室和所述第二傳遞腔室布置成提供至少兩個線性基板傳送路徑。

5.如權利要求1至2中的任一項所述的系統，進一步包括選自下列各項構成的組的腔室中的一者或多者：預處理腔室、層檢查腔室、掩模架腔室以及載具緩沖區腔室。

6.如權利要求3所述的系統，進一步包括：從所述第二真空擺動模塊到所述第一真空擺動模塊的載具返回軌道，其中所述載具返回軌道配置成在真空條件下傳送所述載具。

7.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述兩個或更多個沉積設備包括：

處理真空腔室；

用于有機材料的蒸發源，其中所述蒸發源包括：

蒸發坩鍋；以及

具有一個或多個出口的分布管，其中所述分布管與所述蒸發坩鍋流體地連通，且其中所述分布管在蒸發期間可繞軸旋轉。

8.如權利要求7所述的系統，其特征在于，所述兩個或更多個沉積設備包括：

基板支撐件系統，設置在所述處理真空室中且具有至少兩個軌道，所述至少兩個軌道配置成用于在所述真空處理腔室中基本上豎直地支撐所述基板或運載所述基板的載具。

9.如權利要求7或8所述的系統，其特征在于，所述兩個或更多個沉積設備包括：

用于所述分布管的支撐件，其中所述支撐件可連接至第一驅動器或包含所述第一驅動器，其中所述第一驅動器配置成用于所述支撐件和所述分布管的平移運動，其中所述蒸發源在所述真空處理腔室中蒸發所述有機材料。

10.如權利要求7或8所述的系統，其特征在于，所述分布管通過第二驅動器可繞所述軸旋轉，所述第二驅動器相對于所述支撐件旋轉所述分布管，并且特別地，所述第二驅動器還相對于所述支撐件旋轉所述蒸發坩鍋。

11.如權利要求1或2所述的系統，其特征在于，所述沉積設備具有設置在軌道或線性引導件上的蒸發源，所述軌道或線性引導件配置成用于所述蒸發源的平移運動。

12.如權利要求1或2所述的系統，其特征在于，從所述第一傳遞腔室到所述第二傳遞腔室的雙軌道傳送系統設置成傳送基板通過所述兩個或更多個沉積設備。

13.一種在系統中在由載具支撐的基板上沉積一層或多層的方法，所述系統特別是根據權利要求1至12中的任一項所述的系統，所述方法包括以下步驟：

將所述基板裝載在所述系統中；

將所述基板裝載到所述載具上；

將帶有被裝載的基板的所述載具通過所述系統從直列式沉積系統部分的一個沉積設備傳遞到相鄰的沉積設備，所述直列式沉積系統部分包括兩個或更多個沉積設備，其中所述沉積設備包括可移動且可轉動的蒸發源；以及

從所述載具卸載所述基板。

14.如權利要求13所述的方法，其特征在于，在其中包含有機材料的層沉積在所述基板上。

15.如權利要求13或14所述的方法，其特征在于，在所述基板上沉積所述有機材料期間保持所述基板靜止。