[發(fā)明專利]一種芯片自動周轉(zhuǎn)裝置及方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710383520.9 | 申請日: | 2017-05-26 |
| 公開(公告)號: | CN107123615A | 公開(公告)日: | 2017-09-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 張文杰;謝亮;金湘亮 | 申請(專利權(quán))人: | 江蘇芯力特電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/66 |
| 代理公司: | 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司32224 | 代理人: | 董建林,韓賽 |
| 地址: | 212415 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 芯片 自動 周轉(zhuǎn) 裝置 方法 | ||
1.一種芯片自動周轉(zhuǎn)裝置,其特征在于:包括:圓餅狀的治具本體(10),供所述治具本體(10)移動的軌道(30),用于將位于裝載位置的所述治具本體(10)導正的導正機構(gòu),用于檢測位于裝載位置的所述治具本體(10)是否處于正確位置的檢測機構(gòu);能夠自動吸取芯片(100)并將其裝載到處于正確位置的所述治具本體(10)上的第一操作機構(gòu),以及將裝載有芯片(100)的所述治具本體(10)從所述軌道(30)中取出的第二操作機構(gòu);
所述軌道(30)具有能夠引導所述治具本體(10)移動的引導槽(30a),所述導正機構(gòu)具有能夠旋轉(zhuǎn)和升降的導正方錐(50),所述檢測機構(gòu)具有兩個設(shè)置在所述引導槽(30a)中的觸點(40);
所述治具本體(10)具有兩個相互平行且為圓形的表面(10a),每個所述表面(10a)的中央設(shè)置有相同的、用于裝載芯片(100)的結(jié)構(gòu);所述結(jié)構(gòu)包括:一個裝載芯片(100)的裝載槽(10b)和若干裝載引腳(100a)的裝載孔(10f);所述裝載槽(10b)的深度不小于芯片(100)的厚度從而使芯片(100)能夠完全裝載于所述裝載槽(10b)中;所述治具本體(10)的中央開設(shè)有用于導向定位的導正方孔(10e),所述導正方錐(50)可插入所述導正方孔(10e)中從而導正所述治具本體(10);每個所述表面(10a)還設(shè)置有收容槽(10c),所述收容槽(10c)中設(shè)置有導電片(20);所述導電片(20)的兩端分別與相應的所述觸點(40)接觸時所述治具本體(10)處于正確的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片自動周轉(zhuǎn)裝置,其特征在于:所述裝載孔(10f)能夠與引腳(100a)構(gòu)成緊配合從而使芯片(100)能夠相對穩(wěn)定地固定在所述治具本體(10)中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片自動周轉(zhuǎn)裝置,其特征在于:所述引導槽(30a)的一端能夠與上料裝置的出料口銜接,另一端設(shè)置有限位面(30c);裝載有芯片的所述治具本體接觸到所述限位面(30c)后被所述第二操作機構(gòu)取走。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片自動周轉(zhuǎn)裝置,其特征在于:所述第一操作機構(gòu)具有第一吸盤或第一氣動夾爪;所述第二操作機構(gòu)具有第二吸盤或第二氣動夾爪。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片自動周轉(zhuǎn)裝置,其特征在于:所述導正機構(gòu)還包括升降氣缸和旋轉(zhuǎn)電機;所述旋轉(zhuǎn)電機安裝于所述升降氣缸的推桿上,所述導正方錐(50)安裝于所述電機的主軸上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片自動周轉(zhuǎn)裝置,其特征在于:所述檢測機構(gòu)還包括檢測電路,所述觸點(40)接入所述檢測電路中。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片自動周轉(zhuǎn)裝置,其特征在于:所述引導槽(30a)的兩側(cè)槽壁均設(shè)置有沿引導方向延伸的定位限位凸臺(30b),所述治具本體(10)的外圓面設(shè)置有一圈能夠與所述限位凸臺(30b)形成限位配合的限位環(huán)槽(10d),所述限位環(huán)槽(10d)位于所述外圓面的中心位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片自動周轉(zhuǎn)裝置,其特征在于:所述導正方孔(10e)的開口處加工有便于導正方錐(50)插入的導向面;所述導正方錐(50)的頂部為四棱柱結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種芯片自動周轉(zhuǎn)裝置,其特征在于:所述導向面為斜面或曲面。
10.一種芯片自動周轉(zhuǎn)方法,其特征在于:包括:圓餅狀的治具本體,具有引導槽(30a)的軌道(30),導正機構(gòu),檢測機構(gòu);第一操作機構(gòu),以及第二操作機構(gòu);
將所述治具本體經(jīng)上料裝置連續(xù)地輸送至所述引導槽(30a)中;
當所述治具本體處于裝載位置時,啟動所述導正機構(gòu)對所述治具本體進行導正;
由所述檢測機構(gòu)檢測導正后的所述治具本體是否處于正確位置;如果是則所述第一操作機構(gòu)將芯片裝載到所述治具本體中,否則所述導正機構(gòu)帶動所述治具本體轉(zhuǎn)動90°從而使所述治具本體處于正確位置;
裝載好芯片的所述治具本體繼續(xù)在所述引導槽(30a)中移動至轉(zhuǎn)移位置時由所述第二操作機構(gòu)將其取出。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





