[發明專利]顯示基板的制備方法、顯示基板母板

在審

• 申請號: 201710377934.0
• 申請日: 2017-05-25
• 公開（公告）號: CN107170910A
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 楊忠英;吳建鵬
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L21/683;H01L27/32
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所11105
• 代理人: 焦玉恒

技術領域

本公開至少一個實施例涉及一種顯示基板的制備方法、顯示基板母板。

背景技術

當前用戶對顯示產品的需求越來越高，顯示屏的尺寸也隨之增大。但是顯示屏中的顯示基板在制備過程中會使用蒸鍍工藝，大尺寸的顯示基板會產生下垂問題，從而影響蒸鍍工藝的精度，影響產品的顯示良率。

公開內容

本公開提供了一種顯示基板的制備方法、顯示基板母板以解決上述技術問題。

本公開至少一個實施例提供一種顯示基板的制備方法，包括：提供襯底基板，包括彼此相對的第一主表面和第二主表面，所述襯底基板被劃分為有效區和位于所述有效區域周圍的虛設區；在所述第二主表面和所述虛設區內的所述第一主表面至少之一上形成磁性層；以及在所述第一主表面上沉積元件層。

例如，在本公開至少一個實施例提供的制備方法中，在所述第一主表面上沉積元件層包括：將形成所述磁性層的襯底基板放入蒸鍍設備，所述蒸鍍設備包括蒸發源和磁吸附層；對所述第一主表面進行蒸鍍以沉積所述元件層；其中，所述襯底基板位于所述蒸發源和所述磁吸附層之間，所述磁吸附層位于所述襯底基板的所述第二主表面的一側。

例如，本公開至少一個實施例提供的制備方法還可以包括：在進行蒸鍍之前，在所述襯底基板的第一主表面的一側安裝掩模板。

例如，在本公開至少一個實施例提供的制備方法中，所述元件層包括發光器件的陽極、陰極以及位于所述陽極和所述陰極之間的有機層至少之一。

例如，在本公開至少一個實施例提供的制備方法中，所述元件層至少形成在所述有效區。

例如，在本公開至少一個實施例提供的制備方法中，所述襯底基板包括間隔排列的多個所述有效區，相鄰的所述有效區之間設置有所述虛設區。

例如，在本公開至少一個實施例提供的制備方法中，所述磁性層形成在所述虛設區內的所述第二主表面上。

例如，本公開至少一個實施例提供的制備方法還可以包括：切除所述襯底基板的所述虛設區。

例如，在本公開至少一個實施例提供的制備方法中，所述磁性層至少部分形成在所述有效區內的所述第二主表面上，所述方法還包括：使用腐蝕液對所述第二主表面上的所述磁性層進行處理以去除所述磁性層。

本公開至少一個實施例提供一種顯示基板母板，包括：襯底基板，包括彼此相對的第一主表面和第二主表面，所述襯底基板被劃分為有效區和位于所述有效區域周圍的虛設區；設置于所述第二主表面和所述虛設區內的所述第一主表面至少之一上的磁性層；以及設置于所述第一主表面上的元件層。

例如，在本公開至少一個實施例提供的顯示基板母板中，所述元件層至少形成在所述有效區內。

例如，在本公開至少一個實施例提供的顯示基板母板中，所述磁性層設置在所述虛設區內的所述第二主表面上。

在本公開實施例提供的顯示基板的制備方法中，在襯底基板的主表面上形成磁性層，通過磁吸附力，在蒸鍍過程中，可以緩解或者消除襯底基板的下垂，從而可以提升顯示基板的蒸鍍良率。

附圖說明

為了更清楚地說明本公開實施例的技術方案，下面將對實施例的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅涉及本公開的一些實施例，而非對本公開的限制。

圖1a為本公開一個實施例提供的待加工的襯底基板的結構示意圖；

圖1b為圖1a所示襯底基板沿A-B的截面圖；

圖2a為本公開一個實施例提供的磁性層在襯底基板的第一主表面上的一種分布示意圖；

圖2b為圖2a所示形成有磁性層的襯底基板沿C-D的截面圖；

圖2c為本公開一個實施例提供的磁性層在襯底基板的第一主表面上的另一種分布示意圖；

圖3a為本公開一個實施例提供的磁性層在襯底基板的第二主表面上的一種分布示意圖；

圖3b為本公開一個實施例提供的磁性層在襯底基板的第二主表面上的另一種分布示意圖；

圖4為本公開實施例提供形成有磁性層的襯底基板安裝在蒸鍍設備中的結構示意圖；

圖5a為本公開一個實施例提供的顯示基板母板的結構示意圖；

圖5b為圖5a所示顯示基板母板沿E-F的截面圖；

圖6a為本公開一個實施例提供的對顯示基板母板進行切割工藝的結構示意圖；以及

圖6b為圖6a所示顯示基板母板切割后得到的顯示基板子板的分布圖。

附圖標記：