[發明專利]砂漿供應裝置

在審

• 申請號: 201710375312.4
• 申請日: 2017-05-24
• 公開（公告）號: CN108943457A
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發明（設計）人: 汪燕;劉源
• 申請（專利權）人: 上海新昇半導體科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00;B01D29/58;B01D29/90
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 余昌昊

1.一種砂漿供應裝置，所述砂漿供應裝置用于晶圓切割系統，其特征在于，所述砂漿供應裝置包括第一承載裝置、第一管道、第一過濾網和第一攪拌裝置，其中：

所述第一承載裝置向所述第一管道提供砂漿，所述第一管道向所述晶圓切割系統中的鋼線提供砂漿；

位于所述第一管道中的所述第一過濾網對通過所述第一管道的砂漿進行過濾；

位于所述第一管道中的所述第一攪拌裝置接觸所述第一過濾網，所述第一攪拌裝置以第一管道中心線為軸轉動，以刮除或打碎未通過所述第一過濾網的碳化硅顆粒。

2.如權利要求1所述的砂漿供應裝置，其特征在于，所述砂漿供應裝置還包括第二過濾網和第二攪拌裝置，其中：

位于所述第一管道中的所述砂漿通過所述第一過濾網后，被提供至所述第二過濾網，所述第二過濾網對通過所述第一過濾網的砂漿進行再次過濾，以使砂漿中的碳化硅顆粒粒徑不超過標準值；

所述第二攪拌裝置位于所述第一過濾網和所述第二過濾網之間，并接觸所述第二過濾網，所述第二攪拌裝置以第一管道中心線為軸轉動，以刮除或打碎未通過所述第二過濾網的碳化硅顆粒。

3.如權利要求2所述的砂漿供應裝置，其特征在于，所述第二攪拌裝置還接觸所述第一過濾網，以刮除附著在所述第一過濾網上的碳化硅顆粒。

4.如權利要求2所述的砂漿供應裝置，其特征在于，所述第二過濾網的孔徑小于所述第一過濾網的孔徑。

5.如權利要求2所述的砂漿供應裝置，其特征在于，所述第一攪拌裝置具有2～6個葉片，所述第二攪拌裝置具有6～10個葉片。

6.如權利要求2所述的砂漿供應裝置，其特征在于，所述第一攪拌裝置和所述第二攪拌裝置的轉動速度為20～100轉/分鐘。

7.如權利要求2所述的砂漿供應裝置，其特征在于，所述第一過濾網的目數為500目～1000目，所述第二過濾網的目數為1200目～1500目。

8.如權利要求1所述的砂漿供應裝置，其特征在于，所述砂漿供應裝置還包括控溫器，所述控溫器位于所述第一管道靠近所述鋼線的第一管道出口處，所述控溫器使所述砂漿的溫度保持在20℃～40℃之間。

9.如權利要求2所述的砂漿供應裝置，其特征在于，所述砂漿供應裝置還包括第二承載裝置和第二管道，其中：

所述第二承載裝置向所述第二管道提供清洗液體，所述第二管道與第一管道連接，所述第二管道向所述第一管道提供清洗液體；

所述清洗液體經過所述第一攪拌裝置、第一過濾網、第二攪拌裝置和第二過濾網，并由所述第一管道靠近所述鋼線的第一管道出口處排出。

10.如權利要求9所述的砂漿供應裝置，其特征在于，所述砂漿供應裝置還包括第一閥門和第二閥門，其中：

所述第一閥門控制所述第一承載裝置向所述第一管道的通道；

所述第二閥門控制所述第二承載裝置向所述第二管道的通道。

11.如權利要求9所述的砂漿供應裝置，其特征在于，所述砂漿供應裝置還包括第三管道、第四管道和第三承載裝置，其中：

所述第三管道和第四管道連接所述第一管道側壁上，所述第三管道位于第一攪拌裝置處，所述第四管道位于所述第二攪拌裝置處；

所述清洗液體經過第一攪拌裝置，由第三管道排到所述第三承載裝置；

所述清洗液體經過第二攪拌裝置，由第四管道排到所述第三承載裝置。

12.如權利要求11所述的砂漿供應裝置，其特征在于，所述砂漿供應裝置還包括第三閥門和第四閥門，其中：

所述第三閥門控制所述第三管道向所述第三承載裝置的通道；

所述第四閥門控制所述第四管道向所述第三承載裝置的通道。