[發明專利]金屬-氧化物-金屬電容有效
| 申請號： | 201710372855.0 | 申請日： | 2017-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN107464801B | 公開（公告）日： | 2019-07-12 |
| 發明（設計）人： | 蔡志厚;蔡偉浩;褚嶸興;林英儒;呂昭信 | 申請（專利權）人： | 聯發科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/522 | 分類號： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 北京市萬慧達律師事務所 11111 | 代理人： | 白華勝;王蕊 |
| 地址： | 中國臺灣新竹市*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬 氧化物 電容 | ||
1.一種金屬-氧化物-金屬電容，包括至少一個電容組件，其特征在于，每一個電容組件包括：第一電極和第二電極；
其中，所述第一電極具有閉合圖案；以及，所述第二電極被所述第一電極的所述閉合圖案圍繞；
其中，所述第一電極包括：多個第一導電條、多個第二導電條和至少一個第三導電條，所述多個第一導電條、所述多個第二導電條和所述至少一個第三導電條彼此電連接，每一個第一導電條與所述多個第二導電條之至少一者連接，以及，每一個第三導電條與所述多個第二導電條之至少一者連接；以及，
所述第二電極包括：至少一個第五導電條和至少一個第四導電條，所述至少一個第五導電條和所述至少一個第四導電條彼此電連接，每一個第四導電條與所述至少一個第五導電條連接；
其中，所述第一導電條、所述第三導電條和所述第四導電條在第一方向上延伸，所述第二導電條和所述第五導電條在第二方向上延伸，以及，所述第一方向與所述第二方向交叉；
其中，所述第一導電條、所述第三導電條和所述第四導電條由相同的圖案化導電層形成，所述第二導電條和所述第五導電條由另一圖案化導電層形成，所述每一個第一導電條通過多個第一通孔分別電連接到所述多個第二導電條之至少一者，所述每一個第三導電條通過至少一個第二通孔分別電連接到所述多個第二導電條中的至少一個，以及，所述每一個第四導電條通過第三通孔電連接到所述第五導電條。
2.如權利要求1所述的金屬-氧化物-金屬電容，其特征在于，所述第三導電條在所述第二方向上位于所述多個第一導電條的兩者之間。
3.如權利要求1所述的金屬-氧化物-金屬電容，其特征在于，所述第三導電條和所述第四導電條在所述第二方向上交替布置。
4.如權利要求1所述的金屬-氧化物-金屬電容，其特征在于，所述第一電極還包括：多個段狀導電條；
每一個段狀導電條與所述多個第二導電條之一者交叉，且通過第四通孔與所述多個第二導電條之一者電連接。
5.如權利要求4所述的金屬-氧化物-金屬電容，其特征在于，所述每一個第三導電條在所述第二方向上位于所述多個段狀導電條的兩者之間，所述每一個第四導電條在所述第一方向上位于所述多個段狀導電條的兩者之間，以及，所述第四導電條與所述多個段狀導電條隔離開。
6.如權利要求5所述的金屬-氧化物-金屬電容，其特征在于，所述多個段狀導電條的兩者與相應的第四導電條沿所述第一方向對齊。
7.如權利要求1所述的金屬-氧化物-金屬電容，其特征在于，所述至少一個電容組件包括：沿垂直投影方向依次堆疊的多個電容組件，每一個電容組件由兩個圖案化導電層形成，所述多個電容組件的第一電極彼此電連接，以及，所述多個電容組件的第二電極彼此電連接；
其中，所述垂直投影方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。
8.如權利要求1所述的金屬-氧化物-金屬電容，其特征在于，所述第五導電條與所述至少一個第三導電條交叉，以及，所述第五導電條與所述至少一個第三導電條電隔離開。
9.如權利要求1所述的金屬-氧化物-金屬電容，所述至少一個第三導電條之一者與位于所述第五導電條同側的一個或多個第二導電條連接，以及，所述每一個第三導電條與所述至少一個第五導電條不交叉。
10.如權利要求1所述的金屬-氧化物-金屬電容，其特征在于，所述至少一個電容組件包括并列布置的多個電容組件。
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