[發(fā)明專利]微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備及轉(zhuǎn)移方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710369880.3
• 申請(qǐng)日: 2017-05-23
• 公開（公告）號(hào): CN107146769B
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧馬才;姚江波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L33/00
• 代理公司: 深圳市德力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265
• 代理人: 林才桂

本發(fā)明提供一種微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備及轉(zhuǎn)移方法。所述微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備包括：本體、設(shè)于所述本體上的吐液模塊、冷卻模塊和加熱模塊，可通過吐液模塊向待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管吐出金屬粘附液，通過冷卻模塊冷卻待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管上的金屬粘附液，使得金屬粘附液固化，將本體和待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管粘結(jié)到一起進(jìn)行微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移，轉(zhuǎn)移到位后通過加熱模塊加熱固化后的金屬粘附液，使得金屬粘附液熔化，分離本體和待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管，能夠降低微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移難度，提升微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備及轉(zhuǎn)移方法。

背景技術(shù)

平面顯示裝置因具有高畫質(zhì)、省電、機(jī)身薄及應(yīng)用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)，而被廣泛的應(yīng)用于手機(jī)、電視、個(gè)人數(shù)字助理、數(shù)字相機(jī)、筆記本電腦、臺(tái)式計(jì)算機(jī)等各種消費(fèi)性電子產(chǎn)品，成為顯示裝置中的主流。

微發(fā)光二極管(Micro LED)顯示器是一種以在一個(gè)基板上集成的高密度微小尺寸的LED陣列作為顯示像素來實(shí)現(xiàn)圖像顯示的顯示器，同大尺寸的戶外LED顯示屏一樣，每一個(gè)像素可定址、單獨(dú)驅(qū)動(dòng)點(diǎn)亮，可以看成是戶外LED顯示屏的縮小版，將像素點(diǎn)距離從毫米級(jí)降低至微米級(jí)，Micro LED顯示器和有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)顯示器一樣屬于自發(fā)光顯示器，但Micro LED顯示器相比OLED顯示器還具有材料穩(wěn)定性更好、壽命更長(zhǎng)、無影像烙印等優(yōu)點(diǎn)，被認(rèn)為是OLED顯示器的最大競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。

在微發(fā)光二極管顯示面板的制作過程中，微發(fā)光二極管必須先在原始基板(如藍(lán)寶石類基板)上通過分子束外延的方法生長(zhǎng)出來，而做成顯示面板，還必須要把微發(fā)光二極管器件原始基板上轉(zhuǎn)移到用于形成顯示面板的接收基板上排成顯示陣列，具體為：先原始基板上形成微發(fā)光二極管，隨后通過激光剝離技術(shù)(Laser lift-off，LLO)等方法將微發(fā)光二極管從原始基板上剝離開，并使用一個(gè)采用諸如聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane，PDMS)等材料制作的轉(zhuǎn)移頭，如將微發(fā)光二極管從原始基板上吸附到接收基板上預(yù)設(shè)的位置。

現(xiàn)有技術(shù)中，用于微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移頭通常是通過靜電力吸附微發(fā)光二極管來完成微發(fā)光二極管轉(zhuǎn)移的，該方法對(duì)轉(zhuǎn)移頭與被轉(zhuǎn)移對(duì)象之間的間隙有著嚴(yán)格要求，若出現(xiàn)轉(zhuǎn)移間隙的偏差，就會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)移失效而造成顯示面板缺陷。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備，能夠降低微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移難度，提升微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移效率。

本發(fā)明的目的還在于提供一種微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移方法，能夠降低微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移難度，提升微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移效率。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備，包括：本體、設(shè)于所述本體上的吐液模塊、冷卻模塊和加熱模塊；

所述吐液模塊用于向待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管吐出金屬粘附液；

所述冷卻模塊用于冷卻待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管上的金屬粘附液，使得金屬粘附液固化，將本體和待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管粘結(jié)到一起；

所述加熱模塊用于加熱固化后的金屬粘附液，使得金屬粘附液熔化，分離本體和待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管。

所述本體包括：多個(gè)依次排列的轉(zhuǎn)移頭，每一個(gè)轉(zhuǎn)移頭的底部均設(shè)有吐液口，所述吐液模塊通過吐液口向待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管吐出金屬粘附液。

每一對(duì)相鄰的轉(zhuǎn)移頭之間均設(shè)有吹氣孔，所述冷卻模塊通過吹氣孔向外吹氣冷卻待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管上的金屬粘附液。

每一個(gè)轉(zhuǎn)移頭上均設(shè)有電阻加熱體，所述加熱模塊通過向電阻加熱體通電加熱固化后的金屬粘附液。

所述吹氣孔吹出的氣體為氦氣。

本發(fā)明提供一種微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移方法，包括如下步驟：