[發(fā)明專利]微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備及轉(zhuǎn)移方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710369880.3
• 申請(qǐng)日: 2017-05-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107146769B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-10-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧馬才;姚江波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L33/00
• 代理公司: 深圳市德力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備，其特征在于，包括：本體(10)、設(shè)于所述本體(10)上的吐液模塊(20)、冷卻模塊(30)和加熱模塊(40)；

所述吐液模塊(20)用于向待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管吐出金屬粘附液；

所述冷卻模塊(30)用于冷卻待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管上的金屬粘附液，使得金屬粘附液固化，將本體(10)和待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管粘結(jié)到一起；

所述加熱模塊(40)用于加熱固化后的金屬粘附液，使得金屬粘附液熔化，分離本體(10)和待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管；

所述金屬粘附液為低熔點(diǎn)金屬的粘附液。

2.如權(quán)利要求1所述的微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備，其特征在于，所述本體(10)包括：多個(gè)依次排列的轉(zhuǎn)移頭(101)，每一個(gè)轉(zhuǎn)移頭(101)的底部均設(shè)有吐液口(102)，所述吐液模塊(20)通過(guò)吐液口(102)向待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管吐出金屬粘附液。

3.如權(quán)利要求2所述的微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備，其特征在于，每一對(duì)相鄰的轉(zhuǎn)移頭(101)之間均設(shè)有吹氣孔(103)，所述冷卻模塊(30)通過(guò)吹氣孔(103)向外吹氣冷卻待轉(zhuǎn)移的微發(fā)光二極管上的金屬粘附液。

4.如權(quán)利要求2所述的微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備，其特征在于，每一個(gè)轉(zhuǎn)移頭(101)上均設(shè)有電阻加熱體(104)，所述加熱模塊(40)通過(guò)向電阻加熱體(104)通電加熱固化后的金屬粘附液。

5.如權(quán)利要求3所述的微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備，其特征在于，所述吹氣孔(103)吹出的氣體為氦氣。

6.一種微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟S1、提供一轉(zhuǎn)運(yùn)基板(8)，所述轉(zhuǎn)運(yùn)基板(8)上設(shè)有微發(fā)光二極管(100)；

步驟S2、提供一微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備，所述微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備包括：本體(10)、設(shè)于所述本體(10)上的吐液模塊(20)、冷卻模塊(30)和加熱模塊(40)；

步驟S3、所述吐液模塊(20)向微發(fā)光二極管(100)上吐出金屬粘附液，所述冷卻模塊(30)冷卻所述吐液模塊(20)吐出的金屬粘附液，使得金屬粘附液固化，將本體(10)和微發(fā)光二極管(100)粘結(jié)到一起；

步驟S4、提供一接收基板(400)，所述微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移設(shè)備將所述微發(fā)光二極管(100)移動(dòng)到接收基板(400)上預(yù)設(shè)的邦定位置，所述加熱模塊(40)加熱所述固化后的金屬粘附液，使得金屬粘附液熔化，分離本體(10)和微發(fā)光二極管(100)，從而將所述微發(fā)光二極管(100)轉(zhuǎn)移到接收基板(400)上；

所述金屬粘附液為低熔點(diǎn)金屬的粘附液。

7.如權(quán)利要求6所述的微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述本體(10)包括：多個(gè)依次排列的轉(zhuǎn)移頭(101)，每一個(gè)轉(zhuǎn)移頭(101)的底部均設(shè)有吐液口(102)，所述步驟S3中吐液模塊(20)通過(guò)吐液口(102)向微發(fā)光二極管(100)上吐出金屬粘附液。

8.如權(quán)利要求7所述的微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，每一對(duì)相鄰的轉(zhuǎn)移頭(101)之間均設(shè)有吹氣孔(103)，所述步驟S3中冷卻模塊(30)通過(guò)吹氣孔(103)向外吹氣冷卻吐液模塊(20)吐出的金屬粘附液。

9.如權(quán)利要求7所述的微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，每一個(gè)轉(zhuǎn)移頭(101)上均設(shè)有電阻加熱體(104)，所述步驟S4中加熱模塊(40)通過(guò)向電阻加熱體(104)通電加熱固化后的金屬粘附液。

10.如權(quán)利要求8所述的微發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述步驟S3中所述吹氣孔(103)吹出的氣體為氦氣。