[發明專利]用于蒸鍍裝置的載板及其蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201710368763.5
• 申請日: 2017-05-23
• 公開（公告）號: CN107190245B
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發明（設計）人: 王震;黃俊杰;林治明;呂守華
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 牛南輝;李崢

本發明涉及一種用于蒸鍍裝置的載板及其蒸鍍裝置。所述載板包括：基板，其包括位于所述基板的用于承載待蒸鍍部件的一側的表面上的溝槽；以及設置在所述溝槽中的冷卻部件，其中，所述冷卻部件從所述基板的所述表面向外突出。

技術領域

本發明的實施例涉及蒸鍍技術領域，尤其涉及一種用于蒸鍍裝置的載板及其蒸鍍裝置。

背景技術

有機發光二極管(Organic Light Emitting Diode，簡稱OLED)技術具有發光效率高、制作成本低、色域更廣等等的優勢，已成為替代液晶顯示技術的潛力技術。在制備OLED的工藝過程中，使用真空蒸發鍍膜法(簡稱真空蒸鍍法)進行蒸鍍。真空蒸鍍法是在真空蒸鍍室中通過蒸鍍源對蒸鍍材料進行加熱，使蒸鍍材料的原子或分子從其表面氣化逸出形成蒸汽流，入射到待蒸鍍部件表面，凝結形成固態薄膜的方法。真空蒸鍍法已廣泛應用于顯示裝置的制作過程，例如OLED顯示面板的陰極、陽極以及位于陰極和陽極之間的發光材料層等。

發明內容

本發明的實施例提供了一種用于蒸鍍裝置的載板及其蒸鍍裝置，能夠減少蒸鍍過程中在蒸鍍真空腔室中的靜電的產生。

根據本發明的第一方面，提供一種用于蒸鍍裝置的載板。所述載板包括：基板，其包括位于所述基板的用于承載待蒸鍍部件的一側的表面上的溝槽；以及設置在所述溝槽中的冷卻部件，其中，所述冷卻部件從所述基板的所述表面向外突出。

在本發明的實施例中，所述溝槽的沿與所述溝槽的延伸方向垂直的方向上的截面形狀可以為長方形。

在本發明的實施例中，所述溝槽可以呈S形延伸。

在本發明的實施例中，所述溝槽遍及所述基板的所述表面均勻地彎折延伸。

在本發明的實施例中，所述載板還可以包括位于所述冷卻部件與所述溝槽的底部之間的彈性元件。

在本發明的實施例中，所述彈性元件可以包括彈簧。

在本發明的實施例中，所述冷卻部件的沿與所述冷卻部件的延伸方向垂直的方向上的截面形狀可以為長方形或圓形。

在本發明的實施例中，所述冷卻部件可以為冷卻管。

在本發明的實施例中，所述待蒸鍍部件可以為玻璃基板。

根據本發明的第二方面，提供一種包括在本發明的第一方面中描述的所述載板的蒸鍍裝置。

在本發明的實施例中，用于蒸鍍裝置的載板在其用于承載待蒸鍍部件的一側的表面上具有溝槽，該溝槽中設置有冷卻部件，該冷卻部件從載板的承載表面向外突出，能夠減少載板與待蒸鍍部件的接觸面積，從而減少靜電的產生。

適應性的進一步的方面和范圍從本文中提供的描述變得明顯。應當理解，本申請的各個方面可以單獨或者與一個或多個其他方面組合實施。還應當理解，本文中的描述和特定實施例旨在僅說明的目的并不旨在限制本申請的范圍。

附圖說明

本文中描述的附圖用于僅對所選擇的實施例的說明的目的，并不是所有可能的實施方式，并且不旨在限制本申請的范圍，其中：

圖1是根據本發明的實施例的用于蒸鍍裝置的載板的平面示意圖；

圖2是根據本發明的實施例的沿圖1中的線AA’截取的載板的截面圖；

圖3是根據本發明的實施例的沿圖1中的線BB’截取的載板的截面圖；以及

圖4是根據本發明的另一實施例的沿圖1中的線BB’截取的載板的截面圖。

貫穿這些附圖的各個視圖，相應的參考編號指示相應的部件或特征。

具體實施方式