[發明專利]用于蒸鍍裝置的載板及其蒸鍍裝置有效
| 申請號： | 201710368763.5 | 申請日： | 2017-05-23 |
| 公開（公告）號： | CN107190245B | 公開（公告）日： | 2019-04-02 |
| 發明（設計）人： | 王震;黃俊杰;林治明;呂守華 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司 |
| 主分類號： | C23C14/50 | 分類號： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市中咨律師事務所 11247 | 代理人： | 牛南輝;李崢 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 裝置 及其 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于蒸鍍裝置的載板，包括：
基板，其包括位于所述基板的用于承載待蒸鍍部件的一側的表面上的溝槽；以及
設置在所述溝槽中的冷卻部件，
其中，所述冷卻部件從所述基板的所述表面向外突出。
2.根據權利要求1所述的載板，其中，所述溝槽的沿與所述溝槽的延伸方向垂直的方向上的截面形狀為長方形。
3.根據權利要求2所述的載板，其中，所述溝槽呈S形延伸。
4.根據權利要求3所述的載板，其中，所述溝槽遍及所述基板的所述表面均勻地彎折延伸。
5.根據權利要求1所述的載板，其中，所述載板還包括位于所述冷卻部件與所述溝槽的底部之間的彈性元件。
6.根據權利要求5所述的載板，其中，所述彈性元件包括彈簧。
7.根據權利要求1所述的載板，其中，所述冷卻部件的沿與所述冷卻部件的延伸方向垂直的方向上的截面形狀為長方形或圓形。
8.根據權利要求1所述的載板，其中，所述冷卻部件為冷卻管。
9.根據權利要求1所述的載板，其中，所述待蒸鍍部件包括玻璃基板。
10.一種包括根據權利要求1至9中任一項所述的載板的蒸鍍裝置。
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