[發明專利]一種OLED微型顯示器陰極環防反射膜及其制備方法

有效

• 申請號: 201710365611.X
• 申請日: 2017-05-22
• 公開（公告）號: CN107425139B
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發明（設計）人: 茆勝
• 申請（專利權）人: 茆勝
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 深圳市瑞方達知識產權事務所(普通合伙) 44314
• 代理人: 王少虹;劉潔

本發明涉及一種OLED微型顯示器陰極環防反射膜及其制備方法。該制備方法通過制備帶有陰極環的OLED微型顯示器陰極層；再將陰極環防反射層掩膜版裝載至所述OLED微型顯示器陰極層上；采用掩膜鍍膜法，通過所述陰極環防反射層掩膜版，將防反射材料沉積在所述OLED微型顯示器陰極層上，以制得一層防反射膜，能夠快速簡便地解決顯示器顯示區周邊的亮邊問題。該方法不僅不影響器件光電性能、而且工藝匹配程度高、遮擋效果好、工藝兼容性高，且采用該方法制得的OLED微型顯示器陰極環防反射膜能夠對顯示區完全遮擋，進而大幅降低磁控濺射高能粒子對器件造成的損傷。

技術領域

本發明涉及一種反射膜及其制備方法，更具體地說，涉及一種OLED微型顯示器陰極環防反射膜及其制備方法。

背景技術

在OLED微型顯示器的生產和制備過程中，一般采用頂發射式發光器件結構，其陽極為保證較高的反射率通常采用厚金屬層(500-2000埃米)制備，而陰極環與陽極一體制備成型，因此也有著較高的反射率。導致在器件使用時會看到顯示區邊界的亮邊(即高反射陰極環)，影響顯示效果。

發明內容

本發明要解決的技術問題在于，提供一種能夠解決顯示區邊界亮邊問題的陰極環防反射膜及其制備方法。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：構造一種OLED微型顯示器陰極環防反射膜制備方法，其包括以下步驟：

S1、制備帶有陰極環的OLED微型顯示器陰極層；

S2、使用陰極環防反射層掩膜版裝載至所述OLED微型顯示器陰極層上；

S3、采用掩膜鍍膜法，通過所述陰極環防反射層掩膜版，將防反射材料沉積在所述OLED微型顯示器陰極層上，以制得一層防反射膜。

優選地，在S1步驟中，所制得的所述OLED微型顯示器陰極層為半透明金屬陰極層。

優選地，所述陰極環設置在所述OLED微型顯示器顯示區的外圍。

優選地，在S2步驟中，所述陰極環防反射層掩膜版上設有與所述陰極環位置相對應且尺寸相適配的鏤空部分和加強筋部分。

優選地，在S2步驟中，包括以下步驟，

S2.1、將所述鏤空部分對準所述陰極環；

S2.2、調整所述陰極環防反射層掩膜版與所述陰極環之間的距離。

優選地，在S3步驟中，所述防反射材料包括C、Si、Ge、AgO、MnO2、FeO、CuO中的一種或多種，所述防反射材料的厚度為200-100000埃米。

優選地，在S3步驟中，所述掩膜鍍膜法包括磁控濺射法、熱蒸鍍法、電子束蒸鍍法以及激光脈沖蒸鍍法。

優選地，在S3步驟中，包括以下步驟：

S3.1、在原OLED鍍膜設備內，傳入磁控濺射、熱蒸鍍、電子束蒸鍍或激光脈沖蒸鍍腔室；

S3.2、通過裝載好的陰極環防反射層掩膜版，使用所述磁控濺射、熱蒸鍍、電子束蒸鍍或激光脈沖蒸鍍在陰極環上沉積一層陰極環防反射膜。

優選地，在S3.2步驟中，所述防反射材料通過的所述鏤空部分在所述陰極環上沉積形成所述防反射膜。

本發明還構造一種OLED微型顯示器陰極環防反射膜，采用上述的制備方法制得。