[發明專利]光罩卡夾清潔裝置及曝光機

有效

• 申請號: 201710364101.0
• 申請日: 2017-05-22
• 公開（公告）號: CN106950797B
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 羅善高
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F1/82
• 分類號: G03F1/82;G03F7/20
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種光罩卡夾清潔裝置，其特征在于，包括吸附部件(1)，所述吸附部件(1)固定于光罩交換腔(21)的開口處，所述光罩交換腔(21)用于容納光罩卡夾(3)；

所述吸附部件(1)的吸附面朝向所述光罩卡夾(3)的表面設置；

所述吸附部件(1)包括：

用于吸附所述光罩卡夾(3)上異物的真空吸附管(11)；以及

用于為所述真空吸附管(11)提供真空吸附動力的真空氣體供應單元；

所述真空吸附管(11)面向所述光罩卡夾(3)的吸附面上分布有多個吸附單元(4)；

所述真空吸附管(11)包括：

沿所述光罩卡夾(3)的高度方向從所述光罩卡夾(3)的上表面延伸至所述光罩卡夾(3)的下表面的側壁吸附管(12)；以及

沿所述光罩卡夾(3)的寬度方向從所述光罩卡夾(3)的一側延伸至所述光罩卡夾(3)的另一側的頂面吸附管(13)；

其中，所述側壁吸附管(12)的軸線以及所述頂面吸附管(13)的軸線均與所述光罩卡夾(3)的移動方向垂直。

2.根據權利要求1所述的光罩卡夾清潔裝置，其特征在于，所述側壁吸附管(12)與所述光罩卡夾(3)的側壁之間的距離小于或等于25mm；所述頂面吸附管(13)與所述光罩卡夾(3)的上表面之間的距離小于或等于25mm。

3.根據權利要求1或2所述的光罩卡夾清潔裝置，其特征在于，所述真空吸附管(11)上設置有用于與所述真空氣體供應單元相連通的真空接口(14)，所述真空接口(14)上設置有控制開關。

4.根據權利要求3所述的光罩卡夾清潔裝置，其特征在于，還包括傳感器(5)，所述傳感器(5)包括位于所述光罩卡夾(3)的下方的光罩感應傳感器(51)以及位于所述光罩交換腔(21)內側的限位傳感器(52)；

所述控制開關與所述傳感器(51)電連接。

5.根據權利要求1所述的光罩卡夾清潔裝置，其特征在于，所述吸附單元(4)為吸附孔(41)或真空吸盤。

6.根據權利要求5所述的光罩卡夾清潔裝置，其特征在于，所述吸附孔(41)為圓孔、方孔或圓錐孔。

7.根據權利要求6所述的光罩卡夾清潔裝置，其特征在于，所述吸附孔(41)等間距分布。

8.一種曝光機，其特征在于，包括上述權利要求1-7中任意一項所述的光罩卡夾清潔裝置以及光罩交換移動槽(6)，所述光罩卡夾(3)設置于所述光罩交換移動槽(6)中，所述光罩交換移動槽(6)滑動地設置在所述光罩交換腔(21)中。