[發(fā)明專利]真空干燥膜層的方法和顯示器件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710361240.8
• 申請(qǐng)日: 2017-05-19
• 公開（公告）號(hào): CN107201504B
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許名宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/58
• 分類號(hào): C23C14/58;C23C14/12;H01L51/56
• 代理公司: 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438
• 代理人: 姜怡;王衛(wèi)忠

本公開提供了一種真空干燥膜層的方法和一種顯示器件，所述方法包括：將其上形成有膜層材料的基板置于真空干燥環(huán)境中，其中膜層材料包含溶劑和用于形成膜層的溶質(zhì)；在第一階段中使膜層材料中的溶劑蒸發(fā)并冷凝在上蓋板上，其中膜層材料仍包含特定量的溶劑，以形成具有流動(dòng)性的軟膜；在第二階段中使冷凝在上蓋板上的溶劑的一部分再冷凝到基板上，使得基板上的軟膜的流動(dòng)性增大；以及重復(fù)第一階段和第二階段，在形成表面基本平坦的膜層之后抽真空使溶劑完全蒸發(fā)且使膜層固化。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，且更具體地涉及一種真空干燥膜層的方法和一種顯示器件。

背景技術(shù)

由于有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)具有高材料利用率、高效率等特點(diǎn)，應(yīng)用于顯示器時(shí)不需要精細(xì)金屬掩模(FMM)或其他復(fù)雜的圖案化工藝等特性，易于大面積制備以及全色顯示等優(yōu)點(diǎn)，所以有機(jī)發(fā)光二極管具有廣闊的應(yīng)用前景，受到人們的廣泛關(guān)注，并且尤其適合大尺寸顯示器的應(yīng)用。

然而，在通過(guò)噴墨印刷來(lái)形成有機(jī)發(fā)光二極管的膜層例如有機(jī)層時(shí)，由于其成膜工藝涉及到液體墨水的干燥過(guò)程，最終的成膜狀態(tài)受到眾多因素(包括其他墨水與其溶劑的干燥過(guò)程)的影響，尤其溶劑的蒸氣分布在像素區(qū)內(nèi)是不均勻的，所以在噴墨印刷工藝中控制像素內(nèi)的成膜均勻性具有很大的挑戰(zhàn)性。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述問(wèn)題中的至少一個(gè)，本公開提供了一種真空干燥膜層的方法和一種顯示器件。

根據(jù)本公開的一方面，提供了一種真空干燥膜層的方法，所述方法包括：將其上形成有膜層材料的基板置于真空干燥環(huán)境中，其中膜層材料包含溶劑和用于形成膜層的溶質(zhì)；在第一階段中使膜層材料中的溶劑蒸發(fā)并冷凝在上蓋板上，其中膜層材料仍包含特定量的溶劑，以形成具有流動(dòng)性的軟膜；在第二階段中使冷凝在上蓋板上的溶劑的一部分再冷凝到基板上，使得基板上的軟膜的流動(dòng)性增大；以及重復(fù)第一階段和第二階段，在形成表面基本平坦的膜層之后抽真空使溶劑完全蒸發(fā)且使膜層固化。

在本公開的一個(gè)實(shí)施例中，設(shè)置能夠?qū)暹M(jìn)行溫控的溫控板，從而在第二階段中啟動(dòng)溫控板以使基板冷卻。

在本公開的一個(gè)實(shí)施例中，在第一階段中設(shè)定真空干燥環(huán)境的真空度，以使膜層材料中的溶劑蒸發(fā)并冷凝在上蓋板上。

在本公開的一個(gè)實(shí)施例中，在第二階段中，軟膜的不均勻區(qū)域發(fā)生流動(dòng)，從而趨于平坦化。

在本公開的一個(gè)實(shí)施例中，上蓋板的溫度是可調(diào)節(jié)的，其中，在第一階段中降低上蓋板的溫度，在第二階段中升高上蓋板的溫度。

在本公開的一個(gè)實(shí)施例中，上蓋板具有獨(dú)立的溶劑供應(yīng)系統(tǒng)以形成獨(dú)立的溶劑冷凝槽。

在本公開的一個(gè)實(shí)施例中，膜層材料是通過(guò)噴墨印刷而形成在基板上的。

在本公開的一個(gè)實(shí)施例中，在第一階段中，上蓋板與基板之間具有溫度差，從而形成溶劑朝向上蓋板冷凝的過(guò)程，在第二階段中，上蓋板和基板之間具有反向的溫度差，從而形成冷凝在上蓋板上的溶劑朝向基板冷凝的過(guò)程。

在本公開的一個(gè)實(shí)施例中，所述膜層是有機(jī)發(fā)光層。

根據(jù)本公開的另一方面，提供了一種顯示器件，所述顯示器件包括根據(jù)上面描述的方法制備的膜層。

通過(guò)采用本公開實(shí)施例的技術(shù)方案，能夠解決印刷OLED膜層在干燥成膜過(guò)程中溶劑蒸氣分布不均勻?qū)е碌南袼貎?nèi)的膜厚均勻性差的問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

包括附圖以提供對(duì)本公開的進(jìn)一步理解，附圖并入本申請(qǐng)并組成本申請(qǐng)的一部分，附圖示出了本公開的實(shí)施例，并與描述一起用于解釋本公開的原理。在附圖中：

圖1是示出現(xiàn)有技術(shù)中的對(duì)顯示器件的膜層進(jìn)行干燥的過(guò)程的示意圖；

圖2是示出現(xiàn)有技術(shù)中的形成的像素周邊的部分區(qū)域的放大示意圖；以及