[發明專利]真空干燥膜層的方法和顯示器件

有效

• 申請號: 201710361240.8
• 申請日: 2017-05-19
• 公開（公告）號: CN107201504B
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 許名宏
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/58
• 分類號: C23C14/58;C23C14/12;H01L51/56
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 姜怡;王衛忠

1.一種真空干燥膜層的方法，所述方法包括：

將其上形成有膜層材料的基板置于真空干燥環境中，其中膜層材料包含溶劑和用于形成膜層的溶質；

在第一階段中使膜層材料中的溶劑蒸發并冷凝在上蓋板上，其中膜層材料仍包含部分的溶劑，以形成具有流動性的軟膜；

在第二階段中使冷凝在上蓋板上的溶劑的一部分再冷凝到基板上，使得基板上的軟膜的流動性增大；以及

重復第一階段和第二階段，在形成表面基本平坦的膜層之后抽真空使溶劑完全蒸發且使膜層固化。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，設置能夠對基板進行溫控的溫控板，從而在第二階段中啟動溫控板以使基板冷卻。

3.根據權利要求1所述的方法，其中，在第一階段中設定真空干燥環境的真空度，以使膜層材料中的溶劑蒸發并冷凝在上蓋板上。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，在第二階段中，軟膜的不均勻區域發生流動，從而趨于平坦化。

5.根據權利要求1所述的方法，其中，上蓋板的溫度是可調節的，其中，在第一階段中降低上蓋板的溫度，在第二階段中升高上蓋板的溫度。

6.根據權利要求1所述的方法，其中，上蓋板具有獨立的溶劑供應系統以形成獨立的溶劑冷凝槽。

7.根據權利要求1所述的方法，其中，膜層材料是通過噴墨印刷而形成在基板上的。

8.根據權利要求1所述的方法，其中，在第一階段中，上蓋板與基板之間具有溫度差，從而形成溶劑朝向上蓋板冷凝的過程，在第二階段中，上蓋板和基板之間具有反向的溫度差，從而形成冷凝在上蓋板上的溶劑朝向基板冷凝的過程。

9.根據權利要求1所述的方法，其中，所述膜層是有機發光層。

10.一種顯示器件，所述顯示器件包括根據權利要求1所述的方法制備的膜層。